Y元素对Sr0.5Ba0.5-yYyTiO3薄膜结构与性能影响的研究.pdfVIP

维普资讯 Y元素对Sr0．5Ba0．5_yYyTiO3薄膜结构与性能影响的研究 付兴华 --，王宝娟 ，耿浩然 ，傅正义 (1．济南大学 材料科学与工程学院，山东 济南 250022；2．武汉理工大学 材料复合新技术国家重点实验室，湖北 武汉 430070) 摘 要：为了研究掺杂Bar_rTiO介电薄膜材料的性能，采用阻抗分 材料具有高介电常数 、低漏电流、优 良的介 一温特 析仪等测试方法研究了微量元素钇对Sro．Ba0,_,YyiO薄膜介电性能 性以及居里温度随Ba／Sr比可调的特性，很有希望 的影响。3-Y元素的掺量为0～0．030mol时，相对介电常数s和tan6 用于动态随机存储器、热释电探测器、微波可调器 分别为74-2和0．067；最大介电常数温度点 (居里温度点)逐渐移向 件、相阵天线、场致发光显示器等 ，显示了广阔的 低温；在所测试频率范围内，Y元素的掺量为0．010、0．0150otolrY、Y，) 应用前景，在薄膜材料的研究和制备中日益突现出 时，s、tan6均能表现出较好的频散特性。采用XRD、TEM等测试方法 分析了薄膜的结构特征。薄膜的矿物组成为四方钙钛矿结构，但Y的 来。探索应用于高存储速度、高存储密度的非易失性 溶入改变了晶胞参数的c／a比，减小了薄膜的颗粒尺寸，提高了薄膜 存储器、高性能微波调节器中的BST介质薄膜材料 的致密度：晶粒的生长为取 向一致和无取向生长两种方式。 一 直是薄膜材料研究的重要方向之一。目前 ，Y对钛 关键词：SBT介电薄膜材料 ；介电性能；施主掺杂；结构特征 酸锶钡薄膜材料进行改性的研究尚未见文献报道， 中图分类号：TB383 文献标识码：A 本论文对此作了前沿性的探讨工作。 文章编号：1008—5548(2005)05—0001—05 InfluencesofYttriumonPropertiesand 1实验原料及仪器 MicrostructureofSro~Ba睁 ffiOaThinFilms 1．1实验原料 FuXing-hua ，WANGBao-juall，GENGHao-ran，FUZheng-y? 实验所采用的化学试剂及化学成分为：醋酸锶 (1．SchoolofMaterialsScienceandEngineering，JinnaUniversity，Jinna 250022；2．TheStateKeyLaboratoryofMaterialCompositenadAdvnaced (化学纯)，含量 99．O％；硝酸钇 (化学纯)，含量 Technology，WuhanUniversityofTechnoloyg，Wuhan，430070，China) 99．0％；醋酸钡(分析纯)，含量 99．0％；钛酸四丁酯 (化学纯)，含量 98．O％；醋酸(分析纯)，含量 99．5％； Abstract：The influences0ftraceelementyttrium fY1onthedielectric 无水乙醇 (分析纯)，含量99．7％；丙三醇 (分析纯)，