沉积法制备纳米TiO2薄膜.pdfVIP

10. 3969/j . i s s n. 1008- 5548. 20 13 . 03 . 004 沉 积 法 制 备 纳 米 Ti O2薄 膜 谢洪勇 马长文 邴 乃 慈 孙 志 国 上海第 二工业大学城市建设与环境工程学院 ，上海201209 摘要：利用Ti O2胶体在石英玻璃表面沉积制备Ti O2 薄膜，用分光光度 计测量Ti O2薄膜 的吸光度 ，研究沉积时间、Ti O2胶体浓度 、镀膜次数对 Ti O2薄膜 的沉积 吸附过程和等效 膜厚的影响，讨论纳米Ti O2沉积吸附 的类型。结果表 明，最大等效膜厚随着Ti O2胶体浓度 的增大而增加 ；最 佳镀膜次数与Ti O2胶体浓度无关，随着沉积时间的延长而减少；用气 体 吸 附的B. E. T. 和Langmui r 吸附理论分析的纳米Ti O2在石英 玻璃上 的沉积过程与实验结果相符 。 纳米Ti O2 ；沉降法 ；薄膜；等效膜厚, 沉积模型 O6 4 8 . 1 A 1008- 5548( 20 13) 03-00 14- 04 Pr e pa r at i n f Na n - Ti O2 Thi n Fi l m by Sendi me nt at i n Met h d XI E H n gy ng MA Changwen BI NG Nai c i SUN Zh i gu Sc h l f Ur b an Deve l pment and Envi r nment al Engi n eer i ng, Sha n gh ai Se c n d P l y t ec hni c Uni ver si t y, Sh anghai 20 12 09, Ch i na Ab s t r ac t : Na n - Ti O2 t h i n f i l m wa s pr e par ed by Ti O2 c l l i d n qua r t z gl as s s ur f a c e by dep si t i n me t h d. Th e e f f e c t f Ti O2 c l l i d c nce nt r at i n , s edi men t a t i n t i me , a nd nu mbe r f l a yer s n t he ef f ec t i ve f i l m t hi c kn ess an d s ed i me nt a t i n b eh avi r was i nve st i gat ed. Dep si t i n ad s r pt i n t y pes f Ti O2 na n - par t i c l e s wer e di scus sed. The r esul t s sh w t h at t he ma xi mum ef f ec t i ve f i l m t hi c kn es s i n cr e ases wi t h t he i ncr eas e f Ti O2 c l l i d c nc en t r at i n. Th e pt i mu m c at i n g t i me s h ave n c nc er n wi t h Ti O2 c l l i d c nc e nt r a t i n, wh i c h d ec r ea se wi t h pr l ng at e f se d i me nt a t i n t i me. Th e s edi men t at i n f Ti O2 n an -pa r t i cl e s n qua r t z gl a ss a n al yz e d by t h e g as a d s