电离真空计测量结果的不确定度评定.pdfVIP

《计量与测试技术》2o1O年第37卷第3期 电离真空计测量结果的不确定度评定 TheUncertaintyEvaluationforMeasurementResultofIonizationVacuumGauge 刘兴胜 (中国工程物理研究院电子工程研究所，四川绵阳621900) 摘 要：依据JJG45—1999(比对法校准真空计校准规程》，使用真空计量装置对 ZDK—I型真空计进行示值误差测量，并对测量结果不确定度进行了 分析评定，给出测量结果不确定度的报告。 关键词：电离真空计 ；不确定度 ；评定 1 概述 被=7．62×10一Pa 1．1 测量依据：JJG45—1999((比对法校准真空计校准规 用贝塞尔公式得单次值实验标准差S为： 程》。 1．2 环境条件：相对湿度不大于80％，温度(23±3)℃。 =1．23×10 3pa 1．3 测量标准：二等 电离标准 10～～10 Pa，U= 相对实验标准差为： 8．18％(其中k=2)。 1．4 被测对象：在 l0 ～1Pa测量范 围内的ZDK—I型 ~rel-- x100％_1．54％ ／ ， 真空计 。 实际校准时取4次读数的平均值作测量结果，则不 1．5 测量方法：将被测真空计接到校准装置上，根据要 确定度为： 求校准的压力范围，使标准真空计的值分别稳定在 5× “(P被)= ：0．77％ l0一Pa，8×10一Pa，2×10—3Pa5×10～3Pa 8×10—3Pa ， ， ， 2×10_。Pa，5×10_。Pa，8×10一Pa时，测出被测真空计 自由度 =10—1：9 的值，进行直接的比对，记录数据，并选取其中一点进行 4．2 标准器的标准不确定度 “(P标) 不确定度评定。 对于二等电离标准(10-4～10I1)Pa，(其中k=2) 2 数学模型 U=8．18％，则 (P标)：4．09％； ：尸被 ～P标 估计其相对不确定度为 10％，故： 式中：～绝对误差；P被一被测真空计在被测点上 自由度 = ×(10％) =50 的示值；P标一标准真空计的示值。 5 合成标准不确定度的评定 3 测量不确定度来源 5．1 灵敏系数 测量重复性产生的测量误差，用A类方法评定。 式中：C(P被)=l C(P标)=一1 标准器示值误差产生的标准不确定度，用B类方法 5．2 不确定度汇总如表 l所示 评定。 表 1 由于环境温度、湿度等引起的误差，由于在室温下检 定，故在计算中可忽略不计。 4 计算标准不确定度分量 4．1 测量重复性的不确定