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ASYA与烧结工艺调试方案.ppt

ASYA与烧结工艺调试方案 年 月 日 工艺调试控制: 1、制绒刻蚀: 2、扩散方阻: 3、等离子刻蚀方阻率: 4、PSG后方阻: 5、管P:膜厚: 折射率: 6、丝网印刷:一号机: 二号机: 三号机: 7、烧结温度: ASYS一、二号机: 一号机:1、印刷重量: 2、印刷外观: 二号机:1、印刷重量: 2、印刷外观: 3、背面接触: ASYS三号机: 三号机:1、印刷重量: 2、印刷外观: 3、栅线宽度: 烧结温度调试: * * FRY6 FRY5 FRY4 FRY3 FRY2 FRY1 DIY3 DIY2 DIY1 SEED *

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