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0.84(K0.48Na0.52)NbO30.16K0.56Li0.38NbO2.97无铅压电陶瓷的多层膜工艺研究.pdf

第29 卷第 1 期无机材料学报 Vol. 29 No. 1 2014 年1 月 Journal of Inorganic Materials Jan. , 2014 文章编号: 1000-324X(2014)01-0023-05 DOI: 10.3724/SP.J.1077.2014.12718 0.84(K Na )NbO -0.16K Li NbO 无铅压电陶瓷 0.48 0.52 3 0.56 0.38 2.97 的多层膜工艺研究 1,2 1 1 张志强 , 刘志甫 , 李永祥 (1. 中国科学院上海硅酸盐研究所, 上海 200050; 2. 中国科学院大学, 北京 100049) 摘要: 采用多层膜工艺制备了0.84(K Na )NbO -0.16K Li NbO 无铅压电陶瓷, 研究了不同烧结 0.48 0.52 3 0.56 0.38 2.97 温度和保温时间对陶瓷的密度、物相、微观形貌以及介电和压电性能的影响。结果表明, 所有烧结条件下得到的陶瓷都是钙钛矿结构和少量钨青铜结构的混合相, 而且室温下陶瓷都处于多型相变区域。1050 ℃烧结 8 min 得到的陶瓷断面晶粒均匀, 相对密度达到 95% 以上, 并且获得最优的介电和压电性能: 介电常数为 εr =618, 介电损耗为 tanδ=0.027, 压电常数为 d33=112 pC/N 。与传统制备工艺相比, 多层膜工艺大大降低了烧结温度, 缩短了烧结时间, 有效地抑制了 K 、Na 的挥发。关键词: 铌酸钾钠; 无铅压电陶瓷; 多层膜工艺; 多型相变中图分类号: TQ174 文献标识码: A Preparation of 0.84(K Na )NbO -0.16K Li NbO Lead-free 0.48 0.52 3 0.56 0.38 2.97 Piezoelectric Ceramics by Multi-layer Process 1, 2 1 1 ZHANG Zhi-Qiang , LIU Zhi-Fu , LI Yong-Xiang (1. S