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在线紫外辐照辅助沉积柔性ITO薄膜的研究.pdf
第29卷第4期 真空科学与技术学报
AND
2009年7、8月 CH【NESEJOURNAL0FVAC删S(:ⅡNCETECHNOLOGY 431
在线紫外辐照辅助沉积柔性ITO薄膜的研究
苏达王德苗。 王伟华
(浙江大学信息与电子工程系杭州310027)
Ultraviolet GrowthofIndiumTin
Light-Assisted
OxidesFilmsonFlexibleSubstrates
su Weihua
Da,WangDemiao’,Wang
310027,c7l知)
(Depom,,删of,咖.艇.Elec.Eng.,z^撕University,Hang如u
AbstractTheindiumtin were on of
oxides(rro)rams flexiblesubstrates
deposited polythylene
RF 1TO with
under atloom filmsw班echaracterized
by nmgnetronsputteringultraviolet(UV)irradiationtemperature.The
re·
force conventionalsurface ITO asheet
diffraction(XRD),atomic fdms,with
X-ray microscopy(AFM)andprobes.Good
sistanceof of and those UV
5Q,a 2.5×10—4Q·cmatransmittanceof withoutirradia—
resistivity 92%,outperformgrown
results of
tion.The showthattheUvirradiation tllemicrostructuresand theITOfilms.
significantlyimproves properties
For UVirradiationreducesthe of thesurface andtom—
example.the densitygrainboundarydefects.improvesroughness
the andincreasesthetransmittanceinvisible
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