在线紫外辐照辅助沉积柔性ITO薄膜的研究.pdf

在线紫外辐照辅助沉积柔性ITO薄膜的研究.pdf

  1. 1、本文档共6页,可阅读全部内容。
  2. 2、有哪些信誉好的足球投注网站(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
  3. 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载
  4. 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
在线紫外辐照辅助沉积柔性ITO薄膜的研究.pdf

第29卷第4期 真空科学与技术学报 AND 2009年7、8月 CH【NESEJOURNAL0FVAC删S(:ⅡNCETECHNOLOGY 431 在线紫外辐照辅助沉积柔性ITO薄膜的研究 苏达王德苗。 王伟华 (浙江大学信息与电子工程系杭州310027) Ultraviolet GrowthofIndiumTin Light-Assisted OxidesFilmsonFlexibleSubstrates su Weihua Da,WangDemiao’,Wang 310027,c7l知) (Depom,,删of,咖.艇.Elec.Eng.,z^撕University,Hang如u AbstractTheindiumtin were on of oxides(rro)rams flexiblesubstrates deposited polythylene RF 1TO with under atloom filmsw班echaracterized by nmgnetronsputteringultraviolet(UV)irradiationtemperature.The re· force conventionalsurface ITO asheet diffraction(XRD),atomic fdms,with X-ray microscopy(AFM)andprobes.Good sistanceof of and those UV 5Q,a 2.5×10—4Q·cmatransmittanceof withoutirradia— resistivity 92%,outperformgrown results of tion.The showthattheUvirradiation tllemicrostructuresand theITOfilms. significantlyimproves properties For UVirradiationreducesthe of thesurface andtom— example.the densitygrainboundarydefects.improvesroughness the andincreasesthetransmittanceinvisible size,

文档评论(0)

rewfdgd + 关注
实名认证
内容提供者

该用户很懒,什么也没介绍

1亿VIP精品文档

相关文档