均压槽对空气静压轴承微振动的影响.pdf

第22卷第12期 光学精密工程 V01．22No．12 and Precision 2014年12月 Optics Engineering Dec．2014 924x(2014)123354—06 文章编号1004 均压槽对空气静压轴承微振动的影响 陈 琦1’弘，陈 斌1，蔡黎明2 (1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春130033； 2．中国科学院苏州生物医学工程技术研究所，江苏苏州215163) 摘要：由于空气静压轴承工作过程中的微振动制约了它在超精密设备中的应用，本文对空气静压轴承的动态特性进行了 实验分析，并提出用带均压槽的结构设计来解决上述问题。运用有限元软件对空气静压轴承进行仿真，得到了空气静压 轴承的各项性能参数。分析了微振动产生的原因并提出在空气静压轴承工作表面增加均压槽来有效抑制空气静压轴承 的微振动的方法。通过实验对提出方法进行了验证，结果显示计算结果与实验具有较好的一致性。实验表明通过增加 均压槽的方式可以将轴承微振动降低80％，有效地提高了空气轴承的稳定性和运行精度。本研究为抑制空气轴承微振 动和提高整个机床设备精度做出了有益探索。 关键词：空气静压轴承；均压槽；微振动 中图分类号：THl33．36文献标识码：A doi：10．3788／OPE3354 Effectof onsmallvibrationofaerostaticbearin equalizinggroove CHEN Binl，CAI Qil·“，CHEN Li—min92 Institute Mechanicsand (1．ChangchunofOptics，Fine Physics。 Chinese Academyof 130033，China； Sciences，Changchun 2．SuzhouInstituteBiomedical and of EngineeringTechnology， Chinese Sciences，Suzhou215163，China) Academyof *CorrPs户。行di行gauthor，E-mail：chenqi@ciomp．ac．cn Abstract：Asthe smallvibrationofanaerostaticlimitsits in very bearing applicationsultra—precision machining，thispaperanalyzes the characteristicsoftheaerostatic experimentallydynamical bearing and a structurewithan tosolvethe mentioned proposes design equalizinggroove problem above．To realizethemechanicalcharacteristicsof