基于Agent的芯片制造生产线动态调度方法研究.pdf

第11卷第12期 计算机集成制造系统 voLllNo．12 oo5 2005年12月 systems Dec．2 computerIntegratedManufactu¨ng 文童编号：1006—59¨(2005)12—1710—08 基于Agent的芯片制造生产线动态调度方法研究 李莉，乔非，许潇红，吴启迪 (同济火学电予与信息工程学院clMs研究中心．上海2。0092) 摘要：基于智能体技术，提出了芯片制造生产线动态凋度新方法，实现了投料调度、工件调度与设备维护调 度的集成。首先，给出了基于智能体的动忐调度模型，谖模型中包括管理智能体、投料智能体、工件智能体、设备智 能体、运输智能体与人员智能体。投料智能体用于实现投料控制，工件调度通过工件智能体与设备智能体之间的 协商实现，设备维护调度由设备智能体实现。通过智能体阈的合作，能够实现投料控制、工件调度与设备维护调度 的协同进行。然后给出了工件智能体与设备智能体间协商使用的协商协泌(即带有时间约束的单步西商协议)，以 及智能体决策中使用的调度算法(包括投料调度算法、工件调度算法与设备维护调度算法)。最后，通过实例，给出 了方法的使用过程，并进行了模拟仿真。仿真结果表明，集成的调度方法能更好地优化模型的生产率、加工周期与 设备利用率，最终提高准时交货率。 关键词：芯片制造；动态凋度；智能体；集成；协商协议；调度算法 中图分类号：TP278 文献标识码：A Researchon b踮ed for dynamic agent scheduIingapproach semiconductorwafbrfabrjcation LfL z，x【，X… 以 z·0fAOFF ^oHg，wUQz (C1MS Electr()nics＆Inf【) ResearchCent．，Sch．of Eng，，long】E Z00092，China) Unlv，Shanghal f。rsenl Abst瑚ct：Anew Lc。nductorwaferfabrlcatlonwaspr()p()sed， agent—baseddynamlcsc}】edulingapproach whlch reIease andnlachlne maIntenance Integratedc()ntr()J，dispatc¨“gpreventIve based consistedof鲥xkIndsof a dynamlc input schcduIingmode