CCD抽样过程对傅里叶变换轮廓术测量的影响.pdf

! # ·$ ! 第 卷 第 期 年 月 16 9 Z005 9 Vol.16 No.9 Se .Z005 Journal o O toelectronics Laser p f p ! ! ! 测 量 检 测 CCD抽样过程对 傅里叶变换轮 廓术测量 的影 响 !陈 锋 ! ! ! ! 陈文静 苏显渝 曹益平 张启灿 向立群 四川 大学 光 电科 学 技 术 系 四川 成 都 610064 摘 要 轮廓 量 中 离 散 过 程 理论 分 析存 在 的不 了 以前 忽 略 针对 傅 里 叶变换 术 FTP 测 的 足 讨 论 被 的 CCD 的取 样 过 程 以及 CCD像 元 尺 寸对 FTP 测 量 的影 响 建 立 了完 整 的 CCD 抽 样 的数 学 模 型 分 析 了 CCD 像 元 的光 敏单 元 尺 寸 大小 对 FTP 测 量 的影 响 讨 论 了 CCD取 样 所 引起 的信 号 失 真 和频 谱 混 叠 问题 给 出 了相 关 的表 达 式 和判 断准则 使 得 基 于离 散傅 里 叶变换 的 FTP 分 析方 法更 贴 近实 际测 量 关 键 词 傅 里 叶变换 轮廓 术 FTP 抽 样 测 量 精 度 中图分 类 号 文 献标 识码 文章 编 号 TNZ47 A 1005-0086 Z005 09-1074-06 Influence of theSam lin of CCD Camerasin FTP p g C~EN Wen- in