CMOS电容式湿度传感器的测量电路分析与仿真.pdfVIP

( ) 　　　　　　　　　　　　传感器技术 Journal of Tran sducer Techno logy 　　　　　　　　　　　2005年 第 24 卷 第 12 期 40 CMO S 电容式湿度传感器的测量电路分析与仿真 1, 2 1 1 1 王 　阳 , 陈军宁 , 柯导明 , 徐 　超 ( 1. 安徽大学 电子系 ,安徽 合肥 230039; 2. 浙江万里学院 电信学院 ,浙江 宁波 315100) 摘 　要 : 对与 CMO S工艺兼容的电容式湿度传感器的测量电路进行了分析和仿真 ,为后期的湿度传感器 流片成功提供了有效的保证 。该湿度传感器系采用梳状铝电极结构 ,聚酰亚胺作为感湿介质 。比较不同 的测量方法 ,得出最优的测量电路 。对测量电路进行理论推导后 ,对其进行模拟 ,得出了输出电压与相对 湿度的关系图。最后 ,对该湿度传感器进行版图设计 ,并分析其后加工工艺 。 关键词 : 湿度传感器 ; 电容 ; 测量电路 ; 失配 中图分类号 : TP2 12　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : 1000 - 9787 (2005) 12 - 0040 - 03 Ana ly sis sim ula tion of CMO S capac itive hum id ity sen sor m ea sur ing c ircu it 1, 2 1 1 1 WAN G Yang , CH EN Junn ing , KE D aom ing , XU Chao ( 1. D ept of Elct, Anhu i Un iversity, Hefe i 230039, Ch ina; 2. D ept of Elct, Zhej iang W an li Un iversity, N ingbo 315100, Ch ina) A b stract: M ea su ring circuct of a cap acitive hum idity sen sor comp atib le w ith CMO S techno logy is analyzed and sim u lated, as w ill guarantee a succe ssfu l tap e out of hum idity sen sor. It u se s com b electrodes and polyim ide a s moisture sen sing m aterial. A fter comp arison of different m easuring m ean s of hum idity sen sor, an op tim ized m ea suring circu it ha s been p ut forward. The m ea su ring circu its are theoretically deduced. The m ea su ring circu it is sim u lated. R elation p attern of ou tpu t voltage and relative