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基于有限元分析的ICF靶半自动装配系统的微夹钳设计.pdf
120 传感器与微系统(1hnsduc盱andMicrosystemTechnologies) 2011年第30卷第4期
基于有限元分析的ICF靶半自动装配系统的微夹钳设计幸
余大海，昊文荣，罗敏，王红莲
(中国工程物理研究院激光聚变研究中心。四川绵阳621900)
摘要：根据惯性约束聚变(ICF)靶零件的特点，确定用于ICF靶半自动装配系统微夹钳的技术指标，并
完成其结构设计。该微夹钳采用柔性铰链机构和压电陶瓷驱动，可根据需要更换不同形状和开口距离的
夹口，以适应夹持不同靶零件。以压电陶瓷的2种极限参数为载荷，分析了微夹钳的张合量、应力分布、应
变量，并采用非线性接触分析对夹持力和夹持效果进行了模拟。通过多次有限元分析和优化设计，确定了
微夹钳的最佳尺寸结构。从各项分析结果表明：该微夹钳各项性能参数满足ICF靶装配的要求。
关键词：微夹钳；柔性铰链；有限元分析；非线性接触分析；ICF靶
中图分类号：TP214．3文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2011)04-0120似
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(Research Fusion，ChinaAcademyEngineeringPhysics，Mianyang
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Abstract：According targets，tIIe
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semi．automatic ofICF aredefined．Theframework designed
assemblysystem targets microgripper
work．Theflexure and actuatorare tothe differenttoolsofthe
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