基于棋盘光栅Ronchi检验法的微变液面测量.pdf

第 15 卷 第 6 期 光学 精密工程 Voi. 15 No. 6 2007 年 6 月 Optics and Precision Engineering Jun. 2007 文章编号 1004-924X（2007 ）06-0812-06 基 于棋 盘光栅 Ronchi 检 验法 的微变液面测量 ， ， ， ， 张明照 王伯雄 罗秀芝 刘 国忠 胡柏青 （ ， 100084 ） 清华大学 精 密仪器 与机械 学系 北京 ： Ronchi ， ， 摘要 提出了基于棋盘光栅 检验法 的微变表面形貌测量方法 可 同时测量被测表面形貌两个正交方 向的斜率 因 而可通过一 幅变形棋盘光栅 图重构被测表面形貌 。使用取微分极值 的方法可简单有效地实现变形棋盘光栅 图两个正交 方 向信息 的分离和提取 。根据所提出的测量方法和数据提取算法建立 了微变表面形貌测量系统并对静态和动态表面形 。 ， 0 . 1 m ， 50 m ， 。 貌进行 了测量 结果表 明 所建立系统 的分辨率 ! 测量范 围 ! 符合有关研究 中对微变液面的测量需求 关 键 词 ： ；Ronchi ； ； 棋盘光栅 检验 法 表 面形貌 图像 处理 中图分类号 ：O436. 1；TB92 ；TP391. 4 文献标识码 ：A Profile measurement for micro-varying liguid surface based on chessboard grating Ronchi test ZHANG Ming-zhao ，WANG Bo-xiong ，LUO Xiu-zhi ，LIU Guo-zhong ，HU Bai-ging （Dep artment of Precision Instruments and Mechanology ，Tsinghua Uniuersity ，Beij ing 100084 ，China ） Abstract ：Based on chessboard grating Ronchi test ，a micro-varying surface profiie measurement method was proposed ，which can measure the siopes in two orthogonai directions of the surface simuitaneousiy for recon- structing the surface profiie by oniy one deformed chessboard grating pattern. Information of the two orthogonai directions in deformed chessboard grating patterns can be effectiveiy separated and extracted thro