基于绝缘液体充填封装RF MEMS开关特性分析.pdf

2012年第31卷第4期 传感器与微系统(Transducerand 53 MicrosystemTechnologies) 基于绝缘液体充填封装RFMEMS开关特性分析木 宋明歆1，殷景华1’2，郭海1’3 (1．哈尔滨理工大学应用科学学院电子科学与技术系。黑龙江哈尔滨150080； 2．哈尔滨理工大学工程电介质及其应用技术教育部重点实验室，黑龙江哈尔滨150080； 3．大连民族学院计算机科学与工程学院，辽宁大连116600) ’^ I 摘要：提出并设计一种采用绝缘液体充填封装的RFMEMS开关，分析其工作原理，并以高压油、蓖麻 油、甘油为绝缘液体充填封装，仿真分析绝缘液体对RFMEMS开关的驱动电压、冲击速度、响应时间、开 关电容等方面的影响。结果表明：绝缘液体充填封装有效地将驱动电压降为原来的1／e，，降低上极板对下 极板的冲击速度。对3种液态封装材料性能分析，蓖麻油效果最好：阈值电压下降了一半，约为10V；当驱 动电压为20V时，响应时间为40．6p,s，优于高压油(91．3“s)、甘油(89．9p,s)，冲击速度约为1．26m／s。 关键词：微机电系统；微波开关；封装 中图分类号：TN304 文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2012)04-0053-03 “ 一 OnK■。MEM analysisMEMSswitchesswitch on0n anal)RF fluidfilled in insulating appliedpackaging串 SONG Hail．5 J’2．GUO Ming．xinl。YINJing—hua ofElectricalScienceand of (1．Department Technology，SchoolApplianceScience， Harbin ofScienceand University 150080，China； Technology，Harbin of Dielectricsand of of 2．KeyLaboratoryEngineering ApplicationMinistryEducation，Harbin ofScienceand University Technology。Harbin150080。China； 3．Schoolof Scienceand