主动抛光盘磨制非球面的工艺与面形检测.pdfVIP

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2015-09-06 发布于重庆
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主动抛光盘磨制非球面的工艺与面形检测.pdf

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主动抛光盘磨制非球面的工艺与面形检测

第31 卷第3 期光学技术 Vol. 31 No. 3 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 2 0 0 5 年 5 月 OPTICAL TECHN IQU E May 　2005 ( ) 文章编号 : 2005 　　主动抛光盘磨制非球面的工艺与面形检测朱政 , 高必烈 , 李新南 , 刘鸣 ( 中国科学院国家天文台/ 南京天文光学技术研究所 , 南京　210042) 摘　要 : 主动抛光盘技术特别适用于磨制焦比大的深度非球面 ,能够根据需要对抛光盘面实时地主动变形成偏轴 ( ) 非球面来磨制非球面镜面。它具有较高的磨削速率和较大范围内的自然平滑无切带。用计算机控制磨制 ,可以像加工球面一样来加工一个深度的非球面。介绍了用国内首次研制成功的主动抛光盘对加工直径 910mm 、焦比 F/ 2 的抛物面镜的工艺方法的初步探讨 ,并给出了抛物面镜的检验方案和检测结果。关键词 : 光学工艺 ; 非球面磨制 ; 主动抛光盘 ; 光学检验中图分类号 : TG580. 61 + 3 　　　文献标识码 : A Optical technology and testing method using stressed lap to polish asphere ZHU Zheng , GAO Bilie , LI Xinnan , LIU Ming ( jin g Institute of Astronomical Optics and Technology , National Astronomical Observatories/ Nan Chinese Academy of Sciences , Nanjin g 　210042 , China) Abstract : Stressed lap polishing technology is applied to deep aspheric mirror. It can active deform the lap surface to be come an offaxis asphere according different lap position on mirror surface and different angle of lap. Because the curvature is difference not only on different position on aspherical surface , but also on different direction , so the classical large polishing lap can ’t keep the lap surface as sam