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基于虚拟仪器的薄膜电阻率自动测量系统.pdf
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第29卷第8期 仪器仪 表 学 报 V01．29
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2lD嘴年8月 oline坼J叫mal Aug．20吣
基于虚拟仪器的薄膜电阻率自动测量系统水
王一楠，江建军，别少伟
(华中科技大学电子科学与技术系武汉430074)
摘要：薄膜样品相比半导体材料，电阻更小且材质脆弱，现有的四探针电阻率测量设备无法满足其测量要求。双电测组合法基于薄
层原理，不需要尺寸修正，更适合应用于薄膜样品，且能适应小尺·_r样品的测量。fⅡ是双电测组合法需要在测量过程巾切换电路连接，
且修正函数计算繁复。虚拟仪器技术将测量设备和汁算机结合，编程完成测量过程和数据处理过程。本文介绍应用虚拟仪器技术实
现双电测组合法自动化薄膜电阻率测量系统的过程，结合测量结果说明系统性能以及环境参数对测量结果的影响。
关键词：薄膜电阻率；双电测组合法；虚拟仪器技术
中图分类号：皿216 文献标识码：A 国家标准学科分类代码：510．80
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