基于金刚石膜的X光辐射剂量计的制备及性能.pdf

年第 期 )卷 16Z0 Z006 10 37 基于金刚石膜的 光辐射剂量计的制备及性能。 X 1 Z Z 王 兵 冉均国 苟 立 西南科技大学 材料学院9四川 绵阳 S 四川大学 无机材料系9四川 成都 ) 1. 6Z1010 Z. 610065 摘 要! 采用微波等离子体化学气相沉积(MW- 段时间器件不能准确计量9出现工作G盲区7) 限制了它 )制备的高纯~高度[ ]取向金刚石薄膜作为 的进一步发展S 而另两类器件的相关报道还不多9其研 PCVD 100 敏感材料 制作出具有简单的金属/金刚石薄膜/ 三 究工作仍处于器件制备和性能简单测试的前期阶段0 Si 明治结构的原型 光辐射剂量计3用稳态 光源测试 本文报道了采用高纯 高度取向金刚石薄膜制备的三 X X 其光电响应 结果表明 在 / 的偏压条件下 剂 明治结构型金刚石薄膜辐射剂量计的制备及其稳态 8kV cm X 量计对 光辐射有明显的输出电流信号响应 并且其 光响应特性9并对其特点进行了分析讨论0 X 大小与入射 X 光强度间存在良好的线性关系 说明这 Z 实验 种剂量计可以用于剂量的定量检测3但输出电流信号 在开始测量后近 时间内一直持续增大 反映出 基于金刚石膜的 光辐射剂量计制备 Z0min Z.1 X 器件工作时所需的稳定时间长 响应速度慢 将影响其 采用石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积装置 在实时监测上的应用 需进一步改进o 合成电子级金刚石薄膜9优化的生长 刻蚀 生 6 关键词! 金刚石膜 光剂量计 长 循环沉积工艺 不仅能通过在高 浓度条 X