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VoL51No．2 工程与试验ENGINEERINGTEST 基于非晶态合金的新型测力传感器 臧 勇1’2，石延平1，崔伯第1 (1．淮海工学院机械系，江苏连云港222005；2．中国矿业大学机电学院，江苏徐州221116) 摘要：非晶态软磁合金具有良好的软磁特性和显著的压磁效应，利用其作为敏感材料，能够提高测力传感器的测 量精度和灵敏度。本文介绍了几种基于非晶态合金压磁效应力传感器的基本结构．工作原理以及所存在的问题和 发展趋势。 关键词：测力传感器；非晶态合金；软磁特性；压磁效应 文献标识码：B 中图分类号：TP212．1，TGl39+．8 New ForceSensorbasedon Amorphous Alloy Yon91’-，Shi Bodil Zang Yanpin91，Cui (1．DP声￡．o厂^缸cI}l口雄icnZE，lgi竹巴Pr主以g，H乱口i，l口主J挖5￡主t“￡PD厂姒^挖DZDgy， 222005，J Li口，zy“竹g口行g i口ngs“，C’^f押口，2．ScIIlooZD厂EZ已f￡，-o，，lec^n，l主c口ZE行gi挖gPrfng， (冼i，l口U行iPrsf￡y Abstract：The soft has soft and amorphousmagneticalloy good magneticpropertiessignificant effect，anditisusedasasensitiVematerialto the improve accuracy magnetoelasticity measuring main andthe ofsensors．Thestructure，the measuringsensitivity workingprinciple，theexisting andthe trendofseVeralforcesensorswhicharebasedon problemsdevelopment amorphousalloy effectareintroduced． magnetoelasticity l soft effect KeyworIIs：forcesensor；amorphousalloy magneticproperty；magnetoelasticity l 引 言 2非晶态合金压磁效应 非晶态合金是上世纪70年代以来迅速发展起 通常非晶态合金传感器测量力、应力和扭矩都 来的一种新型功能材料，它具有良好的软磁特性(低 是基于非晶态合金的压磁效应[s]。所谓压磁效应， 矫顽力、低铁损、高磁导率、高磁致伸缩等)和显著的 是指当磁场中的铁磁材料受到机械力的作用时，在 压磁效应，是测力传感器优良的敏感材料。经过30 它的内部产生应变，产生应力d，导致磁导率肛发生 多年研究，基于非晶态合金压磁效应的力传感器取 变化。磁导率的变