声表面波介质表面受力条件下的波速变化研究.pdf

第33卷第5期 声 学 学 报 、厂01．33．No．5 2008年9月 ACTAACUSTICA Sept．，2008 声表面波介质表面受力条件下的波速变化研究术 郑敏 文玉梅 李平 孙雪梅 肖庭富 (重庆大学光电工程学院教育部光电技术及系统重点实验室 重庆 400030) 2007年10月31日收到 2008年4月3日定稿 摘要为了计算力负载直接作用在声表面波传播表面时波速的变化特性，通过有效材料系数将负载引入，并用广义Green函 数计算声速，得到了数值计算的结果，并用声表面波谐振器进行了实验。实验结果表明，将力负载直接加载在声表面波的传 播表面时，波速变化量和力负载大小近似为线性关系，该加载方式下，实验中声表面波谐振器的谐振频率对外加质量负载有 较高的灵敏度，可达1900Hz／g。 43．35 PACS数： V6locitvvariationofsurfaceacousticw￡Lveunderf．0rce onthe surf．ace applied propagation WEN LI SUNXuemeiXIAO ZHENGMin YumeiPing Tingfh L口6DmtD叫加rDptD—efectmnic弛chnDf0夕掣＆sⅣs￡e， (C『o“e9eD，∞to—efec￡mnic西I夕饥ee恸姆，7heKey chongqing ^“_nist，wo，Educo￡iD他，l?hD几gqi忆夕c，niue7’si￡可400030) Receivedoct．31．2007 Revised Apr．3，2008 onthe surfaceofSurfaceAcoustjcWave AbstractThe v甜iationunderaforce loaded velocity directly propagation Effectivematerialcoemcientsareutmzedtoinvolvetheforce andthe Green’s (SAW)isanalyzed． loading general of is onthesurf砬esofSAW Fllnctionisusedtocalculatethe resonators， velocitySAW．IⅡexperiments，forceaPplied the andthe resultsareco璐istentwiththenumericalcalculations．Theresultsalsoshowthat experimentaI