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第 47 卷 第 9期 氯 碱 工 业 Vo.l 47, No. 9
2011年 9月 Chlor-A lkali Industry S p. , 2011
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陈其国 , 高 建 , 陈文龙
( 1. 江苏中能硅业科技发展有限公司, 江苏 徐州221004;
2. 南京大学固体微结 物理国家重点实验室, 江苏 南京 2 10093)
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[ ] TQ 127. 2 [ ] A [] 1008- 133X ( 2011) 09- 000 1- 03
R esearch progress on polycry stalline silicon tail gas recovery technology
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CH EN Q ig uo , GAO J ian , CH EN W enlong
( 1. Jiangsu Zhongn ng Polysilicon T chnology D v lopm nt Co., Ltd., Xuzhou 221004, China;
2. N ational Laboratory of Solid Stat M icrostructur s, N anjingU niv rsity, Nanjing 210093, Ch ina)
K ey w ord s: polycrystallin silicon; tail gas; m mbran s paration t chnology
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