多晶硅生产中回收氢气的净化_刘建军.pdfVIP

　2000 年 12 月 多晶硅生产中回收氢气的净化——刘建军 ·17 · 多晶硅生产中回收氢气的净化 刘 建 军 (北京有色冶金设计研究总院, 北京　100038) [ 摘　要]　本文介绍了回收氢气净化的基本原理、工艺流程, 及用回收氢气生产多晶硅的实践结果, 分 析了半导体多晶硅生产中, 利用活性炭净化从还原炉尾气中回收的氢气。 [ 关键词]　多晶硅; 活性碳; 氢气; 净化 [ 中图分类号]　 304 05 [ 文献标识码]　 [ 文章编号](2000) 0600 1703 TN B Pur if ica t ion in Recover in g Hydrogen dur in g Product ion of Polycry sta ll in e Sil icon [A b st ract ]　It de scr ib e s fun dam en ta l p r in cip le an d techno log ica l p roce ss o f p u r ificat ion in recover ing hydrogen an d re su lt s o f po lycry sta llin e silicon p rodu ct ion u sing hydrogen recovered, an d an a ly se s recovery o f hydrogen from redu ct ion fu rn ace ga s th rou gh p u r ificat ion w ith act ivated carbon du r ing p rodu ct ion o f po lycry sta llin e silicon. [Key w o rd s ]　po lycry sta llin e silicon ; act ivated carbon; hydrogen; p u r ificat ion 还原炉尾气干法回收技术成功地解决了这个技术难 1　概述 题。还原炉尾气首先用氯硅烷鼓泡喷淋分离四氯化 目前, 国内多晶硅的生产主要采用传统西门子 硅和三氯氢硅, 分离出的四氯化硅和三氯氢硅返回 [ 1 ] 工艺——三氯氢硅氢还原 , 主反应如下: 多晶硅生产系统; 剩下的氢气和氯化氢混合气体经 SiH C l3 + H 2 = Si+ 3H C l ( 1) 压缩后, 再用四氯化硅吸收其中的氯化氢, 得到回收 4 = 3 + + 2 (2) SiH C l3 SiC l4 Si H 2 氢气。吸收有氯化氢的四氯化硅解吸出氯化氢后, 返 在生产中, 为了使反应顺利进行, 高纯氢气和三 回吸收系统循环使用; 解吸出来的氯化氢返回多晶 氯氢硅的摩尔比为 10 ∶1, 高纯氢气用量大, 加上三 硅生产系统。回收氢气中仍含有微量的氯化氢, 通