- 1、本文档共4页,可阅读全部内容。
- 2、有哪些信誉好的足球投注网站(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
大口径光学平面的子孔径拼接检验研究,光学合成孔径,分布式光学孔径系统,光学中有效孔径90,上海0光学无缝拼接,拼接屏出厂检验报告,光学车间检验实训,光学分辨率检验板,光学玻璃检验仪器,光学玻璃检验
第3 2 卷第4 期 光 学 技 术 Vol . 32 No . 4
2 0 0 6 年 7 月 OP TICAL TECHN IQU E J uly 2006
文章编号 : (2006) 0405 1404
大口径光学平面的子孔径拼接检验研究
1 1 ,2
李新南 , 张明意
( 1. 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 , 南京 2 10042 ; 2 . 中国科学院研究生院 , 北京 100039)
摘 要 : 研究了检测大口径光学平面的子孔径拼接法 。通过采用最小二乘法对相邻两个子孔径重叠区域的数据进
行分析 ,获得了子孔径之间的拼接参量 ,得到了被检验镜面的整体面形信息 。编制了拼接检验的计算程序 ,并完成了原
理性实验 。采用一台口径为 100mm 的移相干涉仪检测了两个样品 ,给出了拼接检测与全口径检测的对比结果 。样品的
口径分别为 100mm 和 9 1mm 。对比检测结果表明 ,拼接检测与直接检测两种方法的 RM S 之差小于 5nm 。
关 键 词 : 大口径光学平面 ; 子孔径拼接 ; 光学检测
中图分类号 : TH706 文献标识码 : A
Study on the sub-aperture stitching interf erometry f or large plano- optics
L I Xin-nan1 , ZHAN G Ming-yi1 ,2
( 1. Nanjing Institute of Astronomical Optics Technology , National Astronomical
Observatories , Chinese Academy of Sciences , Nanjing 2 10042 , China)
(2 . Graduate School of Chinese Academy of Sciences , Beijing 100039 , China)
Abstract : The principle of stitching interferometry for large plano-optics is analyzed . The wave-front data in t he overlap
ping area are analyzed by using t he algorit hm of t he least- square met hod . Stitching p arameters between adj acent sub- ap erture are
calculated . Then t he surface shap e under testing is calculated . Furt hermore , a practical program for stitching interferometry is
compiled and related exp eriment s are carried out . To examine t he feasibility of stitching interferometry , a p hase- shift interfer
ometer
文档评论(0)