第二章 衬底材料.pdfVIP

为什么使用硅？ 为什么使用硅？ 硅的储量丰富 第二章 衬底材料 硅在地壳中含量约占27 ％，仅次于氧。形成普通沙粒的 第二章 衬底材料 二氧化硅，就是最常见的硅化合物。 很好的物理化学特性 硅材料性能 更高的熔化温度允许更宽的工艺容限，硅1412℃的熔点 远高于锗937℃的熔点，可以承受高温工艺。机械强度 硅晶体结构 较高，无毒，利于加工生产。 硅单晶拉制 更宽的工作温度范围 锗的Eg=0.67eV，操作温度仅能到达90℃，漏电流较 硅晶圆片制备 大。硅Eg=1.12eV，可以用于比锗更宽的温度范围（可 高于200℃），更小的漏电流，更高的可靠性。 硅片质量参数检测 硅可以自然形成的氧化物 不论是砷化嫁（GaAs ）还是锗（Ge ）都不能形成稳定 且不溶于水的氧化物，例如：二氧化锗是水溶性，且会 在800℃左右的温度自然分解。 当前的硅片尺寸与特征尺寸 硅材料的性能 当前的硅片尺寸与特征尺寸 硅材料的性能 硅及硅单晶的化学性质 100mm = 6 inch 1 μm - .5μm 单晶硅和酸在通常条件下不起反应，只与HF＋HNO 混合酸反应，生 3 成溶于水的六氟硅酸络合物，放出棕色的NO2气体： 200mm = 8 inch 1 μm - .25μm