空气中分子沾污（AMC）的实时监测.pdfVIP

维普资讯 洁净与空调技术 CCAC2004年第 2期 4·9· 空气中分子沾污 (AMC)的实时监测 美国颗粒测量 系统公 司 沈 健 摘 要 简要地介绍了AiM监测器的原理及应用效果，该系统可以对沉积于Si02表面的空气分子沾 污AMC进行实时监测，所获得的数据对于了解洁净室内的工艺过程与产生AMC间的相互关系特别有 用。通过监测吸附物总量的长期变化趋势，可以确定洁净室内环境沾污的基本值，以便有利于对新污染 源的早期确认。 关键词 空气分子沾污 石英晶体微平衡计 声表面波 飞行时间二次离子质谱 Real—timeMonitoringofAirborneMolecularContaminationlAMC) Abstract ParticleMesuringSystemAiM monitorprovidesreal-timedetection ofAMC depositionSiO2 surfaces．These dateareparticularly usefulforcorrelatingAMC occurrenceswith eleaIlroom processesand events．By monitoringlong—term trendsin massdeposition，one can establish baselinecontamination lev— els．facilitatingearly identificationofnew contamination SOUrCeS． Keywords AMC Quartzcrystalmicrobalances(QCM) SAW TimeofFlight／SecondaryIonMass Spectroscopy (TOF／SIMS) ParticleMeasuringSystemsInc．USA QCM 约 100多倍的测量灵敏度 ”【。随着SAW及 1 概述 。 其支撑技术在以后的20多年里发展，传感器的灵 AiM空气 中分子污染监测器可用于监测洁净 敏度已经得到不断的改进 [21，AiM (图 1)能够每 室内的下列过程 ：如工艺过程 中各种化学物质 的 分钟测量小于 0．2ng／cm2的表面质量变化 (约为 交叉污染、各种材料释放的气态化学物质、和洁 0．75％单分子层覆盖度) [31。 净室外部空气中的污染物的进入等。因而它具有 在AiM声表面波传感器中工作的声波谐振频 跟踪和分析影响成品率的关键工艺或产品表面污 率为 200MHz。声波沿着晶体表现传播 (图2)， 染的能力 。 当表面的吸附层质量增加时，声波传播速度将会 典型的AMC产生过程持续数秒到数周，又同 减少 ，由此产生的频移Af为： 时涉及多个不 同的污染源和不同分子微粒 。为了 ^f-0【()2Am — A 有效地监测、研究和解决复杂的AMC问题，就要 在被检测表面的电、光或化学性质退化前就能获 式中： 得高灵敏度的实时信息。 △f．频率变化 2 声表面波技术 ☆沈健，男，1962年 12月生，硕士 石英晶体微平衡计 (quartzcrystalmicrobal— 200l001 上海市延安东路618号东海商业 中心 ancesQCM)作为一种声表面波传感器的应用始