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维普资讯 第 3。卷第 5期 微 电 子 学 V01.30 № 5 2000年 10月 M icroelectronics 0ct2000 文章编号 :1004—3365(2OOO)05—0302—07 用于SPICE模拟高频互连效应的RLC电路模型 6 宋任儒 ,阮 刚 ,粱擎擎 ,朱兆曼 ,盟一一互。,ReinhardStreiter~ThomasOtto,Thomas 一 (1.复旦大学 电于工程系,专用集成电路与系统国家重点实验室,上海 200433; 。 t,g z.开姆尼兹技术大学微拄术中心,开姆尼兹,D一09107德国) 关悃键词:卵≥!兰而壅墼 ~垡效应;趋肤效应;里 皇堕燕型. 猫 佣 AnEquivalentRLC CircuitM odelforSPICE Simulation ofInterconnectEffectsin HighFrequency Abstract: AnequivalentRLCc~cuitmodelofranalyzingpropagationcharacteristicsofhighfrequencywavesoil interconnectsispresented.Themodel。inwhichtheeffectsoffrequencyoninterconnectinductanceandressitance havebeen considered,isavailableforanalyzingbothpackage-levelinterconnectandon-chip interconnectin the Whoh spectrum ,byusingthenodalelectricalsimulatorSPICE.Basedonthemodel,theon—chipinterconnecteP leCtS。suchasdelay,crosstalkandovershootthavebeenanalyzedforaninputpulsefrequencyof1000MHz.and tcehniquestosuppressthoseinterconnecteffectshavebeenproposed Keywords: SP1CE simulation:Interconnceteffcet;Skineffect;RLCcircuitmnd 巳1 EEACC: ll30B 中就 出现 了,如多芯片组件 (MCM)、印刷 电路板 1 引 言 (PCB)上的互连设计。当时的互连问题是封装的一 部分,而现在随着集成度提高,互连问题已经出现在 集成电路技术的不断进步使得将 CPU和缓存 芯片上 (On—Chipinterconnect)。 电路集成在一起的系统集成芯片(system—on—chip) 由于互连 问题对芯片的总体性能起着决定性的 的制造成为可能 。现今芯片的最大面积可达到 2×2 影响,对互连寄生效应的控制是 目前乃至未来相当 (cm),时钟频率可达到 1000MHz,复杂的微处理 长一段时间内高性能芯片设计中所面临的瓶颈 问 器芯片包含 2000万个晶体管。芯片内包括 6~8层 题 在对互

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