磁控溅射真空镀膜机的一些常见问题.pdfVIP

磁控溅射膜常见故障的排除 膜层灰暗及发黑 (1)真空度低于0.67Pa。应将真空度提高到0.13-0.4Pa。 (2)氩气纯度低于99．9％。应换用纯度为99．99％的氩气。 (3)充气系统漏气。应检查充气系统，排除漏气现象。 (4)底漆未充分固化。应适当延长底漆的固化时间。 (5)镀件放气量太大。应进行干燥和封孔处理 膜层表面光泽暗淡 (1)底漆固化不良或变质。应适当延长底漆的固化时间或更换底漆。 (2)溅射时间太长。应适当缩短。 (3)溅射成膜速度太快。应适当降低溅射电流或电压 膜层色泽不均 (1)底漆喷涂得不均匀。应改进底漆的施涂方法。 (2)膜层太薄。应适当提高溅射速度或延长溅射时间。 (3)夹具设计不合理。应改进夹具设计。 (4)镀件的几何形状太复杂。应适当提高镀件的旋转速度 膜层发皱、龟裂 (1)底漆喷涂得太厚。应控制在7—lOtan厚度范围内。 (2)涂料的粘度太高。应适当降低。 (3)蒸发速度太快。应适当减慢。 (4)膜层太厚。应适当缩短溅射时间。 (5)镀件温度太高。应适当缩短对镀件的加温时间 膜层表面有水迹、指纹及灰粒 (1)镀件清洗后未充分干燥。应加强镀前处理。 (2)镀件表面溅上水珠或唾液。应加强文明生产，操作者应带口罩。 (3)涂底漆后手接触过镀件，表面留下指纹。应严禁用手接触镀件表面。 (4)涂料中有颗粒物。应过滤涂料或更换涂料。 (5)静电除尘失效或喷涂和固化环境中有颗粒灰尘。应更换除尘器，并保持工作环境的清洁 膜层附着力不良 (1)镀件除油脱脂不彻底。应加强镀前处理。 (2)真空室内不清洁。应清洗真空室。值得注意的是，在装靶和拆靶的过程中，严禁用手 或不干净的物体与磁控源接触，以保证磁控源具有较高的清洁度，这是提高膜层结合力的 要措施之一。 (3)夹具不清洁。应清洗夹具。 (4)底涂料选用不当。应更换涂料。 (5)溅射工艺条件控制不当。应改进溅射工艺条件 中国触摸屏网（ ) 您下载的该触摸屏技术文档来自于中国触摸屏网( / ) What you are downloading are from China Touchscreen Site: ( / ) 中国触摸屏网四大版块： • 触摸屏论坛： / • 触摸屏供求商机： / • 招聘/ 找工作求职： /forum-12-1.html • 触摸屏行业杂志： /emag/ 1. 触摸屏论坛：中国触摸屏网论坛是触控面板人讨论触摸屏技术，解决触摸屏技术问题， 发布触摸屏产品供求信息，了解触摸屏市场动态，触摸屏厂商招聘和找工作求职的第一平台。 2. 触摸屏供求商机：免费发布触摸屏相关产品：触控面板、触摸屏材料、触摸屏设备、触 摸屏一体机、人机界面、大屏幕显示器、广告机、金融自助设备、薄膜开关、电子显示屏等 3. 招聘/找工作求职：触摸屏厂商招聘和触摸屏行业人才找工作求职，招聘/找工作效果好！ 4. 触摸屏杂志：《触动中国》电子杂志聚焦触控面板行业资讯、追踪技术潮流和市场趋势。 中国触摸屏网 ( 51Touch.Com ) 是中国首家以触控面板行业为基础的大型资讯、供求 商机和论坛网站平台。自2003 年9 月创立起，中国触摸屏网一直致力于提供触摸屏行业资 讯与商务服务，深受触摸屏行业用户、业内企业和公司的首肯，其品牌影响力和用户满意度 均位居业内第一。中国触摸屏网凭借强大的信息资讯频道，产品展示频道，供求商机频道， 触摸屏论坛频道，触摸屏一体机频道成为业界公认的全球最大的触控面板行业门户网站。 使用本文档前请您先阅读以下条款: 1. 中国触摸屏网仅对原资料包 “依样”打包，未做过任何改动，但不保证所提供资料或文 档的完整性。 2. 请在使用前查毒 (这也是您使用其它网络资源所必须注意的) 。 3. 由本站提供的资料或者文档对您的网站或计算机造成严重后果的本站概不负责。 4. 转载本站提供的资源请勿删除本说明文件。 中国触摸屏网 —— 无“触”不在