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不同衬底温度生长的La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3薄膜椭圆偏振光谱研究.pdf
第28卷第6期 红外与毫米波学报 V01.28,No.6
2009年12月 Millim.Waves December,2009
J.Infrared
文章编号:1001—9014(2009)06—0410一04
不同衬底温度生长的Lao.5Sr0.5C003
薄膜椭圆偏振光谱研究
李文武1,一, 李亚巍1”, 胡志高1’孙, 朱自强1, 褚君浩1
(I.华东师范大学极化材料与器件教育部重点实验室,上海200241;2.华东师范大学电子工程系,上海200241)
单一钙钛矿结构的多晶薄膜.通过椭圆偏振光谱仪测量了400~llOOnm波长范围内该导电金属氧化物薄膜的光学
折射率随着衬底温度的升高而减小,然而在可见.近红外波长范围内消光系数随着衬底温度的升高而增大.这主要
与薄膜的晶化质量和导电性能有密切的关系.
关键词:脉冲激光沉积法;‰,Sr0,CoO,薄膜;椭偏光谱;光学常数
中图分类号:TN204;TN206文献标识码:A
ELLIPSoMETRYoF
STUDYoNTHESPECTRoSCoPIC
FILMSPREPAREDATDIFFERENT
Lao.5Sro.5C003
SUBSTRATETEMPERATURES
LI Jun-Ha01
Wen—Wul·2,LIYa—Weil,2,HUZhi.Ga012+,ZHUZi.Qian91,CHU
of China
ofPolarMaterialsand Education,East
(1.KeyLaboratory Devices,Ministry
Normal
University,Shanghai200241,China;
ChinaNormal
ofElectronic University,Shanghai200241,China)
2.Department Engineering。East
metaloxidefilmswere on underdifferent
Si(100)substratesgrowth
Abstract:‰5Sro.5C003(IsC0)conductiveprepared
laser showsthatthe ofthe
diffraction(XRD)analysiscrystallinity
temperaturesbyusingpulsed deposition(PLD).X—ray
LSCOfilmsincreaseswiththeincreaseofsubstrate thefilms at650℃and700℃are
temperature.anddeposit
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