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第 卷增刊 半 导 体 学 报 24 VOl. 24 SUPPlemen 年 月 2003 5 CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS May 2003 ================================================================= 从水溶液中沉积光催化活性TiO2 薄膜 周 磊 赵文宽 方佑龄 武汉大学化学系 武汉 ( 430072D 摘要 将基质玻璃片浸渍在含配合物 2- - 离子捕获剂 及加有结晶诱导剂 纳米晶的过饱和水溶 : 6 3 3 2 TiF F H BO TiO 液中 在基质上沉积 薄膜 在沉积温度 和 2- 水溶液的浓度为 -1 及反应物 2- 和 2 . 35C 6 0. 1 - 6 3 3 TiO TiF mOl L TiF H BO 的摩尔比为 的条件下 能得到透明锐钛矿型 的薄膜 膜的厚度随沉积时间的延长而增加 当沉积时 1 = 2~ 4 TiO2 . 间为 时 膜厚约为 用 观察 薄膜的形貌 其表面都较均匀平滑 由 光谱图看出 在 9h 260nm. AFM TiO2 . FTIR 35C 下沉积的 膜已与玻璃片间形成了 键 通过亚甲兰的光催化降解 评价经不同温度热处理后 TiO2 Ti O Si . TiO2 薄膜的光催化活性 结果表明 经 热处理的 薄膜具有最高的光催化活性 其活性相当于 下沉积所 300C TiO2 35C 得 薄膜的 倍 TiO2 5 . 关键词 水溶液中沉积 锐钛矿型 薄膜 光催化 : G TiO2 G PACC : 8220 中图分类号: O643 文献标识码: A 文章编号: 0253-4177(2003D S0-0094-05 1 引言