光学元件表面的数字全息在线检测.pdf

Vbl．20 第20卷第6期 光学精密工程 No．6 andPrecision 2012年6月 Optics Engineering Jun．2012 文章编号1004—924X(2012)06-1182-06 光学元件表面的数字全息在线检测 王瑶璩’，肖 文，潘锋，丛 琳，李建毅 (北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院，北京100191) 摘要：针对光学元件表面质量在线检测的特点，设计了基于数字全息的三维再现检测系统。该系统采用离轴光路，避开 了被测元件的光轴，在数字全息再现过程中应用倾斜相差补偿技术去除了由于离轴检测引入的倾斜相位畸变。在检测 过程中，利用围绕光轴旋转被测元件的方法来改变入射照明光方向矢量和相应的观察方向，实现了多照明矢量合成孔径 技术的应用，扩展了系统的检测距离．提高了系统分辨率。同时，多照明角度下检测数据的叠加，还有效地抑制了检测过 程中出现的散斑噪声对结果准确度的影响。通过对分辨率板、高精度玻璃反射镜的检测实验，验证了该系统在光学元件 表面检测中的作用。当记录距离为40em时，其分辨率能够达到10pm，满足光学元件表面检测的需要。 关键词：数字全惠；光学元件l高轴检测；相位补偿；合成孔径 中国分类号：0438．1文献标识码：A doi：10．3788／OPE1182 on—linedetectionof surface Digitalholographic opticcomponent WANG Lin，LI Fan-jing’，XIAOWen，PANFeng，CONGJian—yi and (SchoolInstrumentScience of Opto—ElectronicsEngineering· Beihang 100191，China) University，Beijing *Correspondingauthor，E-mail：wangfj@aspe．buaa．edu．cn Abstract：Anon-line3Ddetectionfor surfacemeasurementwas systemopticcomponent designed based test on off-axisstructurewaschosentoevadethe axisofa digitalholography．An optical object and tilt was toeliminatethetilted causedanoff-axis the used distortion phasecompensation phase by this andviewdirectioncouldbe the opticpath．Insystem，theilluminatingangle changedbyrotating