压电加速度传感器的固有频率计算方法研究.pdf

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!##$ 年 第 % 卷 第 $ 期!!!!!!!传感器与微系统 !’()*+,-.’()+ /0-’1*2*3.4.-5)16170.* 8 压 电加速度传感器的 固有频率计算方法研究 张中才 ! 杨黎明 ! 程永生 ! 中国工程物理研究院 电子工程研究所 !四川 绵阳 I$!‘ ! # $ $ $ 摘 要 针对压 电加速度传感器在工程应用中的特点 从传感器的力学模 型 出发 建立数学模 型 分析了 $ $ 基座 压 电片 质量块对压缩型压 电加速度传感器 固有频率 的影响 通过计算和仿真 得 出了影响传感器 固 有频率 的一些影响因素与变化规律 % 计算和仿真结果表 明了计算方法的有效性 % 关键词 # 压 电加速度传感器 ’ 固有频率 ’ 刚度 ’ 等效质量 中图分类号# :8!!!文献标识码 # !!!文章编号 # 8### =%$%!##$ #$ =##8 =#; %35,89(4= 45.0,51+,a048B *+ ;(Q*18.,(85881,*/., ?@GT?51)7C-(0$ hGTD0C40)7$ ‘@^GTh1)7C*5.)7 !@43.(.0.*+18.,*4(84=(4,(4= $C9(45 :85E/B *+4=(4,(4= S9B3(83$D(54B54= I$!‘ $C9(45 :-3.,58.# X) 35.607531I35.L’1L.’321IL0.O1.6.-3’0-(--.6.’14.3.’0) .)70)..’0)7(LL60-(301) $35.4(35.4(30- 41+.6M(*.1) 4.-5()0-*41+.60*.*3(M60*5.+95..II.-31I*,M*3’(3.$L0.O1.6.-3’0-*60-.$*.0*40-4(**1) 35. )(3,’(6I’.i,.)-21I-14L’.**.+ L0.O1.6.-3’0-(--.6.’14.3.’0*()62O.+ $*14.0)I6,.)-0)7I(-31’*()+ 03*’,6.0* I1,)+ 35’1,75 -(6-,6(30)7()+ *04,6(30)795.’.*,63*1I-14L,3(301) ()+ *04,6(301) 0)+0-(3.35..II.-30K.).**1I 35.-(6-,6(30)74.351+9 GB )*,E3# L0.O1.6.-3’0-(--.6.’14.3.’’)(3,’(6I’.i,.)-2’*30II).**’.i,0K(6.)34(** #! 引! 言 既是敏感元件又是弹性元件 % 为能设计 出满足高速碰撞要 压 电加速度传感器是一种将力学量转换为 电学量 的检 求 的高频响压 电加速度传感器 $必须计算传感器的 固有频 $ $ 测装置 它可用于振动冲击和线加速度 的测量 在导弹飞行 $ % 率 分析影响 固有频率 的因素及其规律 $ % 试验和高速碰撞测试 中 均要进行加速度历

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