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ZETA INSTRUMENTS 产品应用 精密测量让显微镜定量化 ... 成像 样品的真实颜色和形状如何？ 获取一幅测试样品表面的全真彩色三维图像往往是解决问题的第一步，它对做决定具有参考价值。 尺寸 宽度与高度有多少？ 对在显微镜下才看得到的零件，只要在我们的仪器上做一次扫描即可准确地测出诸如横向尺寸、台阶高度、斜面倾角等参数。 精密量测 表面状况如何？ 我们依据数以百万计的数据点计算出来的二维和三维粗糙度参数，当然会比其它仪器用只扫一条线或只扫一个狭小视场所获得的数据来得精确。 薄膜厚度 表面上还有别的东西吗？ 单层或多层薄膜可用我们的分光光度计（选项）来测量。这样，用户可以同时对表面形貌和长在表面上的薄膜进行研究。 三维成像合适的仪器，适中的价格 … 宏观原子力显微镜 样品形貌和粗糙度超出原子力显微镜测量范围？ 没关系。上图展示了用我们的仪器所产生的喷墨打印机零件的三维图像。图上显示的尺寸已超出了原子力显微镜的测量能力范围。 微观三坐标测量仪 样品形貌在三坐标测量仪上无法分辨？ 没问题。上图展示了用我们的仪器所产生的精加工微波零件的三维图像。图上显示的微波通道侧墙的倾角等是传统的三坐标测量仪所测不了的。 获取数据的时间 没有足够的时间来赶测众多参数？ 不要紧。在不到一分钟之内作个常规扫描，泽塔仪器可以对大视场区域进行成像，并向您提供形貌、尺寸和薄膜等相关信息 获取数据的费用 为获取数据的花费和回报率担忧？ 不用担心。我们的仪器不仅初始投资成本低，而且维护成本更低。难怪连那些对成本敏感的应用，例如监测太阳能电池蚀刻工艺过程等，都选择使用我们的仪器。 高亮度发光二极管应用 图案化蓝宝石基板（PSS）上长有密集的几何图案，生产厂家需要监测其高度和形状的均匀性。 PSS图案不仅可以降低螺纹状位错密度，而且能够减少内部全反射效应，从而提高出光效率。然而，PSS图案尺寸小、侧壁陡峭，这给诸如干涉仪和激光共聚焦显微镜等常规光学轮廓仪带来极大的挑战。- 如果使用探针式台阶仪和原子力显微镜，花在测量上的时间就会过长（大于10分钟），而且它们不能提供足够的PSS芯片统计数据。 对PSS应用而言，Zeta-20是个理想的解决方案。扫描230μm×173μm的视场区域只需不到一分钟时间。本页所展示的图像表明，PSS图案可以清晰地得以分辨。跟原子力显微镜或探针式台阶仪不同，Zeta-20可以在短时间内获得大视场区域的定量结果。 Zeta-20 三维应用软件可以让用户做单个或多个截面分析。测量标尺可以自动定位用来计算几何图案的高度和宽度。其他功能还包括粗糙度测量，利用二维框或圆形标尺量尺寸，以及将数据以跟电子表格和数据库兼容的格式加以储存。 发光二极管面板的测量 由于塑料漫散射面板上有陡峭的几何图案，所以它无法用其他光学轮廓仪来检验。 探针式台阶仪和原子力显微镜的测量速度慢，无法在短时间内提供足够的统计数据。 - 原子力显微镜不能测量大尺寸表面形貌。 对塑料漫散射面板应用而言，Zeta-20是个理想的解决方案。扫描94μm×70μm的视场区域只需不到一分钟时间。本页所展示的图像表明，漫散射面板 上的图案可以清晰地得以分辨。跟原子力显微镜或探针式台阶仪不同，Zeta-20可以在短时间内获得大视场区域的定量结果。 泽塔技术可以对反射率非常低、粗糙度很高的表面进行成像。- 这为测量图案化蓝宝石基板以及发光二极管封装用的塑料漫散射面板提供了理想的解决方案跟其它测量PSS的仪器不同， Zeta-20可以在短时间内对大视场区域进行成像。- 大面积三维成像可以让用户采集更多有意义的数据。与此相反，其它仪器往往只提供一条或几条线上的数据。 发光二极管面板的测量