新型纳米材料在微电子技术中的应用探究.pdf

第43卷第4期 微电子学 Vol-43，No．4 2013年8月 Mfcroelectronics Aug．2013 新型纳米材料在微电子技术中的应用探究 赵四化 (成都工业学院电气与电子工程系，成都611730) 摘要：针对特征尺寸减小给微电子技术带来的问题，简述了纳米材料的几种量子效应；着重介 绍了新型纳米半导体材料(碳纳米管和石墨烯)在后摩尔时代的微电子技术中的应用；探讨了碳纳 米管和石墨烯在纳电子器件、集成电路，以及太赫兹技术、量子信息学中的可能应用。 关键词：碳纳米管；石墨烯；‘纳米材料；微电子技术 中图分类号：TN304 文献标识码：A ofNewNanometerMaterialsinMicroelectronics Application ZHAoSihua andElectronic 611730，P．R．China) (Dept．ofElectricalEngineering，ChengduTechnologyUniversity，Chengdu with Abstract： atissuesassociated featuresizein effectsof Aiming shrinking microelectronics．quantum nanometermaterialswerediscussedin ofnovelnanometersemiconductormaterials．suchas brief,Application carbonnanotubesand microelectronicinPostMooreErawasdescribedin graphene，tO technology particular． ofcarbonnanotubesand in circuitsand Moreover，potentialapplications grapheneintegrated wellasterahertz and examined． devices，as irrformatics，were technologyquantum Carbon words： Key nanotube；Graphene；Nano-material；Microelectronics EEAoC：2520 2新型纳米材料 1 引言 2．1纳米材料简述 摩尔定律一直是指导微电子行业发展速度的准 纳米材料是指晶粒尺寸为纳米级(10均m)的超 则之一。根据摩尔定律，以硅材料为主的微电子器 细材料，其结构包括粒子和粒子问界面两个部分，粒 件的集成度越来越高，器件的特征尺度越来越小，从 子具有长程序晶状结构，而粒子间界面则为无序结 而使集成电路的性价比越来越高。然而，根据美国 构[3]。另外，纳米材料微粒尺寸大于原子簇，小于通 半导体工业协会(SIA)的报告F1|，当最小特征尺寸常的微粒，一般为1～100’am。 达到10n