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低压化学气相沉积法制备单壁碳纳米管.pdf

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低压化学气相沉积法制备单壁碳纳米管.pdf

年第 期( 卷 538 2003 5 34 低压化学气相沉积法制备单壁碳纳米管。 1 1 2 1 2 李 燕 李梦轲 王成伟 力虎林 ( 西北师范大学 物理与电子工程学院 甘肃 兰州 ; 兰州大学 化学与化工学院 甘肃 兰州 1. 730070 2. 730070 摘 要! 采用低压化学气相沉积( 技术在 载体中 的合成 CVD M O 2.2 CNTS g 的 ~ 等纳米催化颗粒上制备碳纳米管( 用高分辨 将 / 或 / 复合载体放入石英舟 置入外缠加 Fe CO CNTS M O Fe M O CO g g 透射电子显微镜(~RTEM及喇曼光谱仪(Raman对生长的 热丝的石英管低压化学气相沉积装置 密封 缓慢升温至 结构特性进行了分析研究 结果表明制备的样品中虽含 0 在机械泵抽气的同时 通入 ( 纯度 流量 CNTS 850 ~2 99.999 多壁碳纳米管 但单壁碳纳米管( 居多 直径约为 为 3 / 0 通 的目的: 一是可将沉积池内的残余气体 SWNTS 0.6\ 20cm min ~2 2nm 分布均匀 且既包含金属型管 也包含半导体型管 低压 置换掉 使载体内吸附的气体脱附 并使载体具有更好的多孔 载体 制备技术 大大增加了等量 ~ 等催化反应 性; 二是通过 热解产生的原子氢将载体 中的纳米 M O CVD Fe CO CVD Fe g 颗粒的比表面积和反应活性 制备的单壁管产额大~成本低~ (

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