单晶蓝宝石的延性研磨加工.pdf

第20卷第6期 光学精密工程 V01．20No．6 andPrecision 2012年6月 Optics Engineering Jun．2012 文章编号1004—924X(2012)06—1316—09 单晶蓝宝石的延性研磨加工 戴欣平h2，赵萍1，文东辉h (1．浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室，浙江杭州310032； 2．金华职业技术学院机电工程学院，浙江金华321017) 摘要：为实现单晶蓝宝石的延性研磨加工，采用纳米压痕和划痕法测试并分析了单晶蓝宝石(O001)面的微纳力学特性， 建立了单颗圆锥状磨粒的压入模型并计算了延性研磨加工的受力临界条件，分析了金刚石磨粒嵌入合成锡研磨盘表面 的效果．对单晶蓝宝石进行丁延性研磨加工试验．采用NT9800白光干涉仪、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜 (TEM)等方法分析了单晶蓝宝石的延性研磨表面特征。试验结果表明：采用纳米压痕和划痕法可以为单晶蓝宝石的延 am，金刚石磨粒的嵌入及在适当载荷下可以实现 性研磨加工提供工艺参数，单晶蓝宝石的延性堆积的极限深度为100 蓝宝石的延性研磨加工，实验条件下的最佳载荷为21kPa，延性研磨后单晶蓝宝石表面划痕深度的分布情况较好，分敏 性小，研磨后的表面发生了位错滑移变形． 关量词：单晶蓝宝石；全刚石磨粒；延性研磨；纳米压痕法，纳米划痕法 中图分类号：0786 文献标识码：A doi：10．3788／OPE1316 Ductile of lappingsinglecrystalsapphire DAI Xin-pin91“，ZHAOPin91，WENDong-huil’ andAdvanced (1．KeyLaboratoryofSpecialPurposeEquipment ManufacturingTechnologyof the 310032，China) Education，ZhejiangUniversityofTechology，Hangzhou Ministryof Mechanical＆Electrical (2．Collegeof Engineering， Vocationand 321017，China) Jinhua Technology，Jinhua Collegeof author，E-mail：wendh@巧Ut．edu．cn *Corresponding the ofa mechaniccharacteris— Abstract：Toachieveductile lappingsinglecrystalsapphire，micro／nano in— tics the weremeasurednanoindentationandnanoscratchmethods．The of sapp