单晶金刚石制备研究进展.pdf

第29卷簟3期 曩 曩 台 盒 2012年6月 vot．29N03 cEME阿EDCAR8fDE 血m20，2 ≯业业生业≮ 童综合评述箜 A帚带书蒂术 doi：l o．3969／j．iB蚰．1∞3—7292．2012．03．010 单晶金刚石制备研究进展 周祥汪建华熊礼威李伟 (武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室，湖北武汉430073) 擅薹相对于多晶金刚石，单晶金刚石具有质量好和纯度高等优点，并且不存在多晶 金刚石中的不规则晶界，因此在半导体和机械等行业具有广泛的应用。本文简要介绍了 单晶金刚石的制备方法和主要应用领域．并对国内外采用高温高压法和化学气相沉积法 制备单晶金刚石的研究成果和必威体育精装版研究进展进行了综合评述。与高温高压法相比，化学 气相沉积法可以高速合成大面积、高质量的单晶金刚石，因此是人工合成单晶金刚石的 研究热点。单晶金刚石主要用作切削刀具、光学材料、半导体及电子器件和首饰等。随着 大单晶金刚石合成技术的进一步发展．金刚石的应用范圈和市场将会更加宽广。 关t词单晶金刚石；化学气相沉积；高温高压；制备方法 鼬燃arch PI叫即裙onP阳pa雎60nof鳓lIgIHrystmⅨ删d 丘乳￡ Z轴“抛形册g批舶眦X如，lg￡ft眦f 0f AdV蛐ced Ma吲als，Wuh蚰InstinJte (IIubeiPr【而ncial‰yLaboratoryPI拍眦Chemistry¨d of。rech加lo肌 Hubei Wuh蚰430073Cl-inB) Al塔rRAcT di姗帅d tlIe弛iB舯 h髓higlI盱qll幽ty口dp面哆，飘d co唧帅edw池poly—cry咖】拙峨ond．Bingle-cryBlal 118ed o山er蛔du“∞．The iII吲弘Il且rgrainboundary．Thus．ith艄b∞n讲delyin呻Ⅱliconductor啪clIinery蚰dPmp丑糟h叩 of diamond inhI一蒯intIlis re。ea北hm· meI】|lod8姐dtlIe“n 6eld8 applic_donsinSle—crystala聘陆胡y paper．The 吼dt5觚d l即ent舟se脚慰h pmg嗍ofsinde．cIy嘲ldi姗∞d碑印ared坶h诎tempe穗lIl弛Bndhi曲p佗s蛳弛me出od蚰d chemical kmpe随tu陀蚰dhjgh va． vapordepoBi咖metlIod矗陀弛“ewed．c岫pared诵tIlhjgh p弛蚺眦m洲，cheIIIicaI