- 1、本文档共7页,可阅读全部内容。
- 2、有哪些信誉好的足球投注网站(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
多功能抗激光损伤高反射膜.pdf
第3卷 第3期 中国光学与应用光学 Vol.3 No.3
2010年6月 June2010
ChineseJournalofOpticsandAppliedOptics
文章编号 16742915(2010)03027405
多功能抗激光损伤高反射膜
赵缨慰,付秀华,李 珊,宫大为
(长春理工大学,吉林 长春 130022)
摘要:为了能同时满足半导体激光器和YAG激光器对薄膜的特殊要求,在分析高反射膜理论的基础上,选取TiO 和
2
SiO为高、低折射率材料镀制了周期性多层介质高反射膜。研究了材料的光学及机械特性,重点解决了薄膜的消偏振和
2
抗激光损伤问题。实验采用电子束真空镀膜并加以考夫曼离子源辅助沉积,利用TFC软件进行膜系设计,通过调整镀
膜工艺参数和监控方法,在10mm×18mm的K9基底上镀制了符合要求的高反射膜,结果表明,当激光以45°入射时,
薄膜在900~1100nm的p光与s光的反射率均大于9995%。所制备的高反射膜性能稳定,抗激光损伤阈值高,能同时
满足两种激光器的使用要求。
关 键 词:光学薄膜;高反射膜;激光损伤;消偏振
中图分类号:O484.41 文献标识码:A
Antilaserinduceddamagehighreflectance
filmwithmultifunction
ZHAOYingwei,FUXiuhua,LIShan,GONGDawei
(ChangchunUniversityofScienceandTechnology,Changchun130022,China)
Abstract:InordertomeetthespecialrequirementsofsemiconductorlasersandYAGlasersforfilmssynchro
nously,theprinciplesofahighreflectancefilmwereresearched.Then,bychoosingtheTiO andSiOfilms
2 2
asthehigherandlowerreflectancematerials,ahighlaserinduceddamagethresholdreflectancefilmwasde
posited.Theopticalandmechanicalpropertiesofthematerialswereinvestigatedandthedepolarizationand
antilaserinduceddamageofthefilmwereovercome.Inexperiments,theelectronbeamvacuumcoatingand
theKaufmanionsourceassistedtechniquewereusedtodepositthefilmandtheTFCsoftwarewasusedtode
signthethinfilmstructure.Byadjustingtheparametersofcoatingprocessandmonitormethod,thehighre
flectancefilmwassuccessfullydepositedona10mm×18mmK9substrate.Obtainedresultssh
文档评论(0)