多功能抗激光损伤高反射膜.pdf

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第3卷 第3期  中国光学与应用光学 Vol.3 No.3            2010年6月      June2010 ChineseJournalofOpticsandAppliedOptics 文章编号 16742915(2010)03027405 多功能抗激光损伤高反射膜 赵缨慰,付秀华,李 珊,宫大为 (长春理工大学,吉林 长春 130022) 摘要:为了能同时满足半导体激光器和YAG激光器对薄膜的特殊要求,在分析高反射膜理论的基础上,选取TiO 和 2 SiO为高、低折射率材料镀制了周期性多层介质高反射膜。研究了材料的光学及机械特性,重点解决了薄膜的消偏振和 2 抗激光损伤问题。实验采用电子束真空镀膜并加以考夫曼离子源辅助沉积,利用TFC软件进行膜系设计,通过调整镀 膜工艺参数和监控方法,在10mm×18mm的K9基底上镀制了符合要求的高反射膜,结果表明,当激光以45°入射时, 薄膜在900~1100nm的p光与s光的反射率均大于9995%。所制备的高反射膜性能稳定,抗激光损伤阈值高,能同时 满足两种激光器的使用要求。 关 键 词:光学薄膜;高反射膜;激光损伤;消偏振 中图分类号:O484.41  文献标识码:A Antilaserinduceddamagehighreflectance filmwithmultifunction ZHAOYingwei,FUXiuhua,LIShan,GONGDawei (ChangchunUniversityofScienceandTechnology,Changchun130022,China) Abstract:InordertomeetthespecialrequirementsofsemiconductorlasersandYAGlasersforfilmssynchro nously,theprinciplesofahighreflectancefilmwereresearched.Then,bychoosingtheTiO andSiOfilms 2 2 asthehigherandlowerreflectancematerials,ahighlaserinduceddamagethresholdreflectancefilmwasde posited.Theopticalandmechanicalpropertiesofthematerialswereinvestigatedandthedepolarizationand antilaserinduceddamageofthefilmwereovercome.Inexperiments,theelectronbeamvacuumcoatingand theKaufmanionsourceassistedtechniquewereusedtodepositthefilmandtheTFCsoftwarewasusedtode signthethinfilmstructure.Byadjustingtheparametersofcoatingprocessandmonitormethod,thehighre flectancefilmwassuccessfullydepositedona10mm×18mmK9substrate.Obtainedresultssh

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