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多孔SiO2膜的制备和增透性能研究.pdf
第31卷第2期 硅 酸 盐 通 报 v。1．31N。．2
1111生!旦 望旦垦兰曼!!堕Q里!垡垦垦堕!盟垦!坚堡垦壁垒塑!堡!Q竺!垦!! 垒P堕!：!!!!
多孔Si02膜的制备和增透性能研究
王贺，魏长平，彭春佳，李丛昱，程果
(长眷埋1大学化学与环境工程学院，长春130022)
摘要：采用溶胶-凝胶结合旋转涂膜法在玻璃基底上制备SiO：薄膜，研究了陈化时间和旋涂速度对SiO：膜增透性
能的影响，利用热分析仪、x射线衍射仪、红外光谱仪、扫描电镜、分光光度计、椭偏仪等方法分别对干凝胶的热分
解过程、晶体结构、微观形貌、透过率和折射率进行表征=结果表明：膜层透过率与制备条件有-定的规律，随着陈
化时间的延长和旋涂速度的增加，增透峰中心波长发生了移动。在最佳工艺条件下，制备的SiO：薄膜具有较好的
增透性能，在玻璃上镀SiO：增透膜后，峰值透过率(300～1000nm)由90％提高到95％，其膜厚为315nm，折射率为
1．352，孔隙率为27％，进一步提高了可见光利用率。
关键词：溶胶-凝胶；SiO，；多孔；增透膜
中图分类号：0613 文献标识码：A
on and
Anti—reflective
StudyPreparation
ofPorousFilm
Properties Si02
WANG Guo
He，WEIChang-ping，PENGCh龇．j泌，LlCo凡g—yu，CHENG
of andEnvironmental ofScienceand
(SchoolChemistry Engineering，ChangchunUniversity Technology，Changchun130022，China)
methodwasintroducedto filmscoatedonto substrates．The
Abstract：Sol—gel prepareporousSi02 glass
effectsofthe rateontheanti—reflectiveof filmshavebeenstudied．
agingtime，spinning propertiesSi02
Thethermal andrefractiveindexofthe
structure，microstrueture，transmittance
decomposition，crystal
werecharacterized and
samples byTG—DSC，XRD，Fr-IR，SEM，spectrophotometer
ellipsometer．The
resultsshowedthatthetransmittanceoffilms center
conditions，the
controllingbycha
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