大尺寸反射镜高精度光学镜面Ni-P过渡层的制备方法.pdf

V|01．7 第7卷第1期 纳米技术与精密T程 No．1 2009年1月 andPrecision Jan．2009 NanotechnologyEngineering 大尺寸反射镜高精度光学镜面Ni．P过渡层的制备方法 姜 伟∽，董 慧1，张云琨1，王立波1，张忠玉1 (1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所。长春130031； 2．中国科学院研究生院，北京100049) 摘要：为了解决高精度光学系统中铝合金、镀反射镜易钝化、难加工的问题，采用自催化镍．磷合金作为过渡层后进 行抛光的方法得到了高精度光学镜面．采用该方法所得到的镍．磷合金过渡层厚度为85岫1，磷质量分数为11．88％， 镀层显微硬度为730MPa．镍．磷合金过渡层与反射镜结合牢固、耐蚀性较好，可通过±200℃热震试验及96h中性 盐雾试验检测，适用于进行古典法抛光．经抛光后反射镜面形精度均方根值(RMS)为O．049力(面形检测波长五为 0．632 8lim)。表面疵病等级为Ⅳ级，能够满足光学系统的要求． 关键词：铍反射镜；铝反射镜；高精度光学镜面；自催化镍．磷合金 中图分类号：TGl78文献标志码：A 文章编号：1672．6030(2009)01-0041．06 ofNi--P Transitionof Alloy LayerHigh--Precision Preparation Surfacefor Mirror Size Reflection Optical with．Large JIANGWeim，DONGHuil，ZHANGYun—kunl，WANGLi．b01，ZHANG Zhong．yu】 Instituteof Mechanicsand 130031。China； (1．ChangchunOptics，Fine Physics，Changchun 2．GraduateSchoolofChinese of 100049，China) AcademySciences，Beijing Be toobmin transitionwas onAI and Abstract：Inorder a surface，Ni—P alloy high—precisionoptical alloy layerprepared A1reflec— reflectionmirroranelectroless showedthataNi-P couldbeobtainedon