有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共7页，可阅读全部内容。
- 2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
多壁碳纳米管湿度传感器频率特性.pdf
第8卷第4期 纳米技术与精密工程 V01．8No．4
2010年7月 andPrecision Jul．2010
NanotechnologyEngineering
ofMulti-WalledCarbon
Nanotube Sensor
FrequencyProperties Humidity
LIU Xin．1ai’
Xiao．weil一，ZHAOZhen．gan91，WANGXinl。ZHOU
of Instituteof
(1．SchoolAstronautics，Harbin
Technology，Harbin150001，China；
of andMicro—Structures of of
2．KeyLaboratoryMicro·Systems ManufacturingMinistryEducation，
HarbinInstituteof
Technology，Harbin
150001，China)
theeffectofthe on
Abstract：To sensor to themeasur-
study testingfrequenciesproperties，andimprove
methodandthe ofthemulti—walledcarbon fire-
ing properties nanotubos(MWCNTs)humiditysensor，the
ofthet把nsorwere electrodesweremadeonthe substrate
quencyproperties studied．Interdigital glass by
and a of mixtureWaScoatedonthe
evaporationphotolithography，thenlayerMWCNTs·Si02 electrodes，at
laSt wasnodulizedin
thesensor vacuumcircumstance．Thecontrolledrelative
mentswereachievedsaturatedsaline thesensorwaStestedautomaticRCLmeter
using solutions，and by
atthe from1 kHzto500kHz．The ofthesensorwerestudied
文档评论（0）