小孔夫琅和费衍射法标定CCD光电响应特性.pdf

Vol。16 第16卷繁3期 光学精密工程 No。3 andPrecision 2008鼙3月 Optics Engineering Mar。2008 交章缝号 l004—924X(2008)03—0410—05 小孔夫琅和费衍射法标定CCD光电响应特性 林晓钢1，顾乃庭1’2，杨泽平2 (1。重庹大学光电技术及系统教育部重点实验室，重庆400030； 2．中圆科学院兜电技术研究所，四川成都610209) 摘要：对比势板现商黪各种CCD光电响应特性橼定方法后，弓l入了利用小孔夫琅秘赞衍射据定CCD光电峨建的方法。 推导了该方法中Airy斑的理论相对光强分布I／Io与CCD像素位鬣孢忿间的定量关系，完成了时特定耐阵CCD光电珥句 应特性标定窟验。农数撮处理过程申，采用二次曲线拟念法准确获褥了灰度曲线的峰值位爨，实现了Airy斑归一化理 论光强分布魏线与CCD实测获度分布曲线对准，解决了这葶ll方法的中心对准间题，得到准确的灰度峰假位置确为 404．650 0，获徭了拳誓定的CCD光电转换特髓魏线。标窥绪聚表裙，平均襁对误差为0．77弼，拟含绪采可靠。 关键词：电荷耦合器件；光电响应，标定方法；小孔失琅和费衍射法 中国分类号：TN386．5；0436．1文献标识码：A ofCCD characteristics Calibration bypinhole photoelectric Fraunhoferdi呈艇actionmethod LIN Xiao-gang，(；UNai—ting，YANGZe-ping and the (1．Opto-electronicTechnologySystemKeyLaboratoryof Ministryof 400030，China； ‘Education，ChongqingUniversity，Chongqing 2。Institute andElectronics，Chinese 610209，China) Optics AcademyofSciences，Chengdu of newcalibration Fraunhoferdiffractionmethod，wasintroducedafterana— Abstract：A method，pinhole severalmethodsof CCD’S characteristics。Thebetween lysing calibratingphotoelectric relationship the relative distributionof in then(the of I／Io(the lightintensity Airypatterntheory)andposition deduced。Inthedata valueof scalecurvewasobtained CCD’8 processing，thepeak grey