等离子喷涂介质层提升臭氧发生器性能的试验研究.pdf

高电压技术第39卷第7期2013年7月31日 HjghV。】tage 1703 Engjneerjng，VoJ．39，No．7，Jub，31，2013 ============================================== 等离子喷涂介质层提升臭氧发生器性能的试验研究 陈 波1，杨学昌1，陶顺忠2 摘要：为了结合陶瓷的性能优势和搪瓷的工艺优势，利用先进的等离子喷涂工艺制备了臭氧发生器介质涂层。 对涂层进行了微观结构分析和介电性能测试，并设计制作了管式臭氧发生器样机，研究了不同涂层对臭氧产生性 能的影响。研究结果显示等离子喷涂涂层满足臭氧发生器的设计要求，且可以获得更高的相对介电常数￡，，其中 氧化铝(Alz0。)加氧化钛(Tioz)的双涂层方案具有最佳的臭氧生成性能。等离子喷涂工艺具有很强的灵活性，可 替代玻璃和搪瓷成为臭氧发生器新的介质层负载工艺，具有良好的应用前景。 关键词：等离子喷涂；臭氧发生器；介质阻挡放电；Lissajous图；氧化铝；氧化钛；陶瓷 DOI：lO．3969／j．issn．1003—6520．2013．07．0256520(2013)07一1703一07 文章编号：1。03 on Plasma Dielectric ExperimentalStudy Sprayed Layer to OzonePerformance Improve CHENB01，YANG Xuechan91，TAOShunzhon酽 (1。 ofElectrical 1 Department 00084，China； Engineering，TsinghuaUniversity，Beijing 2．SuzhouZhishunSurface 215500，China) Techn0109yCo．，Ltd．，Changshu 1nordertoobtainthe ofbothceramic andenamel we Abstract： advantages performance technique。prepared dielectric fortheozonizertheadvanced and andtestedthe coatings by plasmasprayingprocess。 analyzed we a tube the microstructureanddielectric ofthe ozonizer on propertiescoatings．Moreover，developed prototype the different in The basisofthe andstudied of ozone plasmaspraye