飞秒纳秒脉冲激光微构造和掺杂单晶硅.pdf

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2015-09-22 发布于湖北
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第27卷第2期强激光与粒子束 V01．27，No．2 BEAMS Feb．，2015 POWERLASERANDPARTICLE 2015年2月HIGH and of doping Microstructuring laser andnanosecond siliconwithfemtosecond pulses。 WenCail，Li Xiaofen92，QiuRon91， Xiaohon91，HeXiaoqin92，Duan Liu Siful’3 Dexion91，TangJinlon91，Hu Matter (1．School ExtremeConditions Universityof ofScience，JointLaboratoryfor Propoties，Southzoest Scienceand 621010，China； Technology，Mianyang 100190Chi’m； National CondensedMattPr Phy5if5，Chine5eofSciPnoes’Beij‘ng 2．Beijing Lab。rat。ryfor Physics，Instit“te。f Academy 610054，China) andSolid—State ElectronicScienceand China，Chengdu 3．SchoolMicroelectronics Electronics，Universityof Technologyof of weremicrostructuredand inSF6 Abstract： silicon(c-Si)surfaces hyperdoped Monocrystalline atmosphere and laserpulses，respective一 femtosecond(fs)Ti：sapphirenano