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一 氢气纯化器 氢气是我们自己电解水得来的。所以杂质气体中会有较多的氧气和水蒸气。我们机台使用的氢气都是经过2次纯化得来的。氢气纯化器共11台（2台国产作为一次纯化器，6台钯管为二次纯化器，一台Entegris为二次纯化器，一台大连圣迈为其他纯化器提供再生氢气）。 一次纯化 电解水得到的原料氢气的纯度为4个9（电解过程本身有自身配套的纯化），我们一次纯化使用的2台纯化器分别是大连圣迈和成都恒思达生产的。经过一次纯化，纯度可以上升到6.5个9。可以纯化的最大流量是60m3/h，最大工作压力为18公斤。 原理：纯化器分左右两路，一路工作，一路再生。主要的纯化原理就是脱氧干燥 ，常温，压力16公斤左右，MnO吸附氧生成MnO2 ，一种干燥剂吸附水。再生周期可由使用情况设定合适的时间，再生步骤：自动卸压到常压，升温到300℃，，通入氮氢混合气对吸附剂进行再生，氢气把MnO2还原为MnO，将吸附剂里面的水汽带走。再生完成后，通入氮气吹扫冷却，最后用出口氢气吹扫残存的氮气，充压备用。 一次纯化相关注意事项： 1）纯化时，脱氧干燥是在常温状态，否则水不能被吸附； 2）再生时，是在常压状态下。降压是出于安全考虑，因为在高温下，压力容器存在一定隐患，如爆炸（热胀冷缩原理）； 3）如判断出某纯化器有故障，应立即把进出气的旁通阀打开，再把氢气进出口阀门关掉（注意先后顺序）。否则，相应机台会因气体压力过低而报警宕机（因为旁通阀不能及时打开，导致机台所需的氢气供应不上）。 二次纯化：钯管纯化器 三 氨气纯化器 ISO 加热控制开关UP和气柜 JPC纯化器和VMB D300机台 氨气纯化器出现过的问题： 1、 一期纯化器发生过PLC电池电量不足，控制失灵（更换电池）；PLC必须马上更换（3分钟内），否则造成软件中数据丢失。 2、液氨进入纯化器FM-1中，这时应检查氨气管道是否加热； 3、FM-1流量过大（5~20m3/h），检查阀门是否漏，氨气有腐蚀性，长期使用会损坏阀门。 4、流量计损坏（更换流量计）；气动阀门内漏（更换阀门）。 例：检反应室过程 目前我们检漏仪的主要应用有拆反应室、换MO源、拆洗/过滤器、球阀、Bake炉、Y形管、检验钯管及各种需要检漏的气体管道等。 检反应室过程： 1）把检漏口阀门EA关闭进行自检，抽真空使漏率10-10 ，压力20Pa，且达到稳定状态； 2）同时把EBARA泵阀门EB打开，将反应室抽真空，确认电脑显示器显示压力为0；然后再打开EA，此时两个泵同时抽，漏率可降至10-13，压力10Pa； 3）然后关闭EB，漏率和压力会有所上升，待稳定至10-10 ，压力20Pa后，开始检漏，在所有打开过的阀门接口处小喷氦气，确认无漏，再进行整体大喷；如果有漏 ，检查漏处情况，拆卸重装，直到不漏为止。 4）收尾：把EBARA泵阀门打开，检漏口阀门关闭，把检漏仪VENT。 千万注意：先关检漏口阀门，再VENT，否则空气进入，经过过滤器、管道时把残留物、粉尘带入，导致污染反应室的顶盖，还要重新拆开，清理反应室顶盖。 氮氢检漏仪 　　氢作为检漏使用的示踪元素，有着很多独一无二的优点。氢是自然界中分子量最小、最轻的元素，氢气也是所有气体中最轻的。由于氢分子移动速度都要高于其他分子，因此使用安全的低浓度氢气作为示踪气体，可以有着更快的响应速度和更好的检漏精度。另外，氢气分子的扩散性是所有元素中最佳的，使用氮氢混合气检漏法不需要很高要求的本底环境，无需象氦气检漏一样设置专用的检漏室。我们把这种使用95%氮气和5%的氢气的混合气作为示踪气体进行检漏的方法称作氮氢混合气检漏法或氢气检漏法。 氮氢检漏技术所使用的示踪气体是混合气体（95％氮气+5％氢气），这种低浓度的氮氢混合气是一种安全、无毒、不可燃的标准工业用焊接保护气体，无须自行混合。其价格非常低廉，与纯氮气接近，仅为纯氦气的5％～10％，很容易在各个气体供应商处购得。目前国内外已经将氮氢检漏技术广泛应用于空调、冰箱、冰柜等制冷产品管路的检漏及发动机、变速箱、减速机、阀门、药品包装、飞机油箱油路和其他密封件的检漏。 　　德国VULKAN LOKRING氮氢检漏仪（H2LD）的检漏精度优于氦质谱检漏仪，其使用的氮氢气体成本远低于氦气的成本，氮氢检漏仪H2LD本身的设备投资也远低于氦质谱检漏仪，使用维护成本更低于氦质谱检漏仪。因此使用氮氢检漏仪H2LD替代传统的氦质谱检漏仪是检漏技术的发展趋势。（详细原理说明没有找到） Bake炉 A炉：尺寸较小，供D300烤盘，最高温度1380℃，持续4小时