丝网印刷制备钡铁氧体永磁厚膜的研究.pdf

何器等：丝网印刷制备钡铁氧体永磁厚膜的研究 197l 丝网印刷制备钡铁氧体永磁厚膜的研究+ 何 云，蒋洪翊，张万里，彭 斌，酃泽字 (电子科技大学电子薄膜与集成器件嗣家重点实验室，网川成都610054) 摘霖：采用丝网印刷方法制备钡铁氟体永磁厚膜， 的影响。 研究了热压烧结对钡铗氧俸厚膜性黥的影喻。XRD 2实验过程 结装表蹊，在掌盈烧臻和热压浇结秘捶品中臻毒绢豆 的BaFe，：O，。衍射峰。岛常压烧结相比，热压烧结的榉 采用传统瀚瓷工艺翻蕾丝潮印蒯浆科所需要的粉 品表面孔洞明显减少，致密性得到了很欠的提高。并 且热胍烧结的样品磁性能也有明显的提离。其剩磁比 可迭0，71，矫顽力迭到304。lkA／m。而常压烧结样品 剃磁跑争舔颁力仅为0。5l争278．8kA／m。 烧将破碎、球藤黪避薅，裁霹徭裂印澍所嚣麓谈铗裁{零 关键涌：锾锾氧体；丝网印穰；厚壤；剩磁毙 粉料。丝网锑鞭掰鹃浆籽蛊25，5％(质量分数)熬糕 中翻分类号：TM277．2 文献标识码：A 结剂(由松油酵、乙基纤维素组成)，2．5％(质量分数) 文蹴编号：1001-9731(2008)12—1971-03的玻璃粉和72％(质量分数)的钡铁氧体粉料组成。 采用250目的丝网在AI。0。陶瓷基片上印刷厚度 l 翠l 言 瑰筏逶绩霸雷达泡子技术懿飞遗发溪捉使微波器 件向蓉平面化和集成化的方向发展【1]，黼传统的微波 为20rain。最聪将所得的厚膜分测在常压和热压条件 环行器、隔离器等属予分立器件，难以稻霸前的微波电 下于1170℃烧绐，保温6h。热腿烧结的示意图如嘲l 路集成，阻碍了微波器件和设备的一体化与集成化。 所示。 勰决这一问题的关键怒以薄膜或厚膜形式的铁氧体材 瓤袋装块箨戆铁氧l零，嶷这样瓣背景下，美嚣海军实验 |F 室率先进行了铡备可警西化和集成他的微波器俘K】。 钡铁械体(BaFe。：O-。)水磁具有良好的化学稳定性，较 垫片 高饱和磁化强度(M。)，是一种高内场旋磁材料，利用 厚膜 该特性，钡铁氧体可成殿予毫米波器件，如毫米波环行 器、繇离器醯一3等，采矮该褥往麓萤弱毫零渡器终，在没 基簧 有外嬲磁场的作爝下器徉就能够工作，扶两实瑰自确 圈1 热压烧结乖意图 置，这样就可以减小器件的体积和重量。但是，应用于 l Sketchofthe Fig hot—presssintering 自偏鬣的微波器件时需要钡铁氧体的膜厚在50tom以 上u]，常用的薄膜制铸筝段如激光脉冲沉积(PLD)[6】、 滚榻给延(LPE)口】、磁靛溅射(RF)等王艺簇难实瑰， 摸毫子显徽铙(SEM)铰分辑潭簇游爨装太枣霸表鞭彩 这警要是圭于镢铁氧{奉薄貘静生长速率低，当滚袄时 间太长时，由于热应力的积累将导致薄膜开裂甚至执 品磁强计(VSM)测量钡铁氧体厚膜的磁性能。 基片上脱落。 丝网印刷是一种常见的厚膜制备方法，该方法具 3结果与讨论 有成本低，效率高秘掇作方便等优点。夔曩东jE大学 3。l结稳与表覆彩貌 懿Chert等馨3栗嚣丝鬻露鞠工艺涮各钦铰氧簿潭矮，