利用退火的碳纳米管与金属接触特性的改善.pdf

第 14卷第 1期 功能材料与器件学报 Vo l14 ,No1 2008年 2 月 JOURNAL OF FUNCTIONAL MA TER IAL S AND D EV ICES Feb. , 2008 文章编号 : 1007 - 4252 (2008) 0 1 - 0227 - 04 利用退火的碳纳米管与金属接触特性的改善 谭苗苗 ,叶雄英 ,王晓浩 ,周兆英 (精密测试技术及仪器国家重点实验室 ,清华大学精密仪器与机械学系 , 微米纳米技术研究中心 ,北京 100084) 摘要 :碳纳米管与金属电极间的接触特性是提高纳米器件性能的重要因素 。本文采用介电电泳在 金属对电极上组装碳纳米管 , 形成金属 - 碳纳米管 - 金属结构 。将样品分别在 200 ℃、300 ℃、 400 ℃下恒温退火 1h后自然冷却 。通过测量样片的伏安曲线 ,根据曲线线性度和斜率来评价退火 前后的接触状态 。实验表明 ,在三种温度下退火 ,接触电阻均有不同程度的减小 。但一段时间间隔 后 , 电阻又会增加 。在本次实验时间范围内,其接触电阻均小于退火前 。样片在 300 ℃下分别退火 30m in、60m in、90m in 后比较其电阻的大小 ,发现电阻随着退火时间的延长而逐渐减小 。 关键词 :介电电泳 ;接触电阻;退火 中图分类号 : TB 342　　文献标识码 : A Im prov in g con tact of CNT - m eta l by ann ea ling TAN M iaom iao, YE X iongying, WAN G X iaohao, ZHOU Zhaoying ( State Key L aboratory of Precision M ea su rem en t Techno logy and In strum en ts, D ep t. of Precision In strum en ts and M echano logy, M icro - N ano Techno logy R e search Cen ter, Tsinghua U n iversity, B eij ing 100084 , Ch ina) A b stract: The con tact quality between CN Ts and m etal electrode s is an importan t factor for nano device s. Samp le s w ith CN Ts a ssem b led between a p air of A u electrode s by d ielectrop hore sis were re sp ectively an nealed at the temp eratu re of 200 ℃, 300 ℃ and 400 ℃ for an hou r and then coo led natu rally. B y m ea su r ing I - V cu rve s, the con tact quality of samp le swa s te sted before and after annealing. The con tact quality between CN Ts and m etal electrode s got better after annealing. Even though it becam e worse w ith tim e p a ssing, it is sti