晶圆制造自动化组合设备的调度问题研究.pdf

第15卷第3期 计算机集成制造系统 V01．15No．3 2009年3月 IntegratedManufacturingSystems Mar．2009 Computer 文章编号：1006—5911(2009)03一0522一07 晶圆制造自动化组合设备的调度问题研究 潘春荣1’2，伍乃骐1 (1．广东工业大学机电工程学院，广东广州510006； 2．汕头大学工学院，广东 汕头515063) 摘要：晶圆制造的加工工艺日趋复杂．存在严格的逗留时间约束，无法解决自动化组合设备的调度问题，尤 其对于重人加工、作业时间的随机波动及多自动化组合设备等复杂的加工过程更是如此。通过分析晶圆制造自动 化组合设备调度的难点和局限性以及现有的调度方法及其局限性，提出了“仿真+启发式+优化”的方法，可能是 有效解决组合设备调度问题的途径。 关键词：自动化组合设备；晶圆制造；调度；Petri网；建模 中图分类号：TP278 文献标识码：A ofclustertoolsinwaferfabrication Scheduling PAN Chun—ron91”。WUNai—qil ofMechanical＆Electronic of (1．School University Engineering，Guangdong 510006，China； Technology，Guangzhou of University，Shantou515063，China) 2．CollegeEngineering，Shantou strict time ofwaferfabricationinclustertoolshasbecome Abstract：With constraint，processes residency increasingly wasdifficultto automatedcluster multiclustertoolswith complicated．It schedule tools，especially complexproces— sessuchasre-enter andstochasticvariationof andlimitationsofthe time．By difficulty processes working analyzing existing methodsforclustertoolsinsemiconductor scheduling was whichwouldbeaneffectivesolutiontOclustertool strategy scheduling