利用有限Fourier系数算法求解光学制造中误差校正输入数据.pdf

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2015-09-27 发布于重庆
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利用有限Fourier系数算法求解光学制造中误差校正输入数据

94 E 2006, 36(1): 94~104 Fourier * ( , 100081; , 100084; , 100089) , , () . , , . Fourier , . , , . Fourier . , [1]. 20 70 , Itek Rupp , [2], [3~9]. , (). , , , . 1 , , , : 2004-08-07; : 2005-09-30 * ( : ** Email: chenghaobo@ SCIENCE IN CHINA Ser. E Technological Sciences 1 : Fourier 95 1 [10].