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2015-09-27 发布于重庆
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AFM纳米加工系统设计

27 2 Vol. 27, No . 2 2005 4 OPT ICAL INST RU MENT S April, 2005 : 1005-5630( 2005) 02-0076-04 X AFM 纳米加工系统设计朱吉牧, 章海军, 张冬仙 ( , 310027) : 利用自行研制原子力显微镜开发了一套纳米加工系 , 系利用软件预先读入图形, 根据图形控制探针的精确走向, 实现复杂图案的矢量式扫描刻蚀, 并且对陶瓷管的非线性畸变实现了软件矫正, 实验表明系可加工出精细的纳米图形, 为进一步加工出更为精细复杂的纳米器件奠定了基础。 : AFM ; 纳米结构; 刻蚀 : T N305: A Nano-fabrication system based on atomic force microscopy - , - , - ZH U J i mu ZH A N G H ai j un ZH A N G D ong x ian ( , , 310027, ) State Key Laboratory of M oder Optical I strum e tatio Zhejia g U iversit y Ha gzhou Chi a Abstract: A ew a o-fabricatio system based o AFM is prese ted. U si g this system, a 2 3 , sophisticated patter ca be obtai ed o the surface of Al O getti g the pattem from a picture by softw are to co trol the precise steps of the ca tilever a d the tip. The o-li ear aberratio of piezo-tube is corrected by softw are of this system. I the experime t, structure of a o-scale is obtai ed, a d more sophisticated a o eleme ts ca be obtai ed i further research. Key words : AFM ; a o-structure; lithography 1 [ 1] ( AFM) , [ 2] , , , , , , , [ 3] / , 40 ; Soh AFM PMMA M MA m [ 4] [ 5] Ric