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2015-09-27 发布于重庆
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GEM膜的化学刻蚀与性能测试

29 5 Vol. 29 No. 5 2009 9 Nuclear Electronics Detection T echnology Sep. 2009 GEM 1 1 2 3, 1 钟夏华 , 李玉兰 , 来永芳 , 李金 ( 1. 1000 4; 2. 102205; 3. 100049) : GEM , 2 , 4 4cm , 5m, 140m GEM 3 55 Fe X ( 5. 9keV) , , 26% , 5 10 : GEM ; ; ; ; : T L 1 : A : 025 0934(2009) [ 4] GEM ( Gas Electron Multiplier) , X , CERN( [ 5, 6] GEM ) F. Sauli 1997[ 1] ( 5m ) GEM ( 50m ) , CERN[ 7] 70m, 140m [ ] [ 9] 3M T ech etch 300~ 400V , , 100kV/ ( cm atm) [ 2] 2004 2006 , [ 10] [ 11] , [ 3] GEM , , GEM , , , GEM , ( 70: 30) , GEM GEM , GEM 55 Fe X 24% , , GEM ( GEM 3 GEM , 6 2 10 Hz/ mm ) ( m) ( 40 1 2 [ 2] 40cm ) , 1 , , : [ 12] : ( 19 2- ) , , , , , 1214 ) , GEM , ( )