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2015-09-27 发布于重庆
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MEMS微变形反射镜校正波前静态畸变实验

第37卷第6期红外与激光工程 2008年12月 V01．37No．6 InfraredandLaser Dec．2008 Engineering MEMS微变形反射镜校正波前静态畸变实验谭佐军1-一，陈海清1，康竞然1，张坤1 (1．华中科技大学光电子科学与工程学院，湖北武汉430074； 2．华中农业大学理学院应用物理系，湖北武汉430070) 摘要：微变形反射镜(MEMS．DMs)是用于自适应光学中波前校正的重要元件。对微变形镜波前校正原理进行了分析，设计了基于自适应光学系统的测试系统，通过闭环控制技术成功地利用一种分最大，是造成整个波面畸变的最重要的原因。MEMS-DMs对低阶渡前畸变校正较好，高阶波前畸变校正时残余误差比较大。增加控制电极数量可以更好地校正高阶模式的波前畸变。基于自适应光学系统的MEMS．DMs波前畸变校正实验系统，可以为今后全面优化设计微变形反射镜及其更适应自适应光学系统的需要提供实验数据与理论支持。关键词：自适应光学；微变形镜； Zernike多项式；波前畸变中图分类号：TN241文献标识码：A 文章编号：1007—2276(2008)06一1070—04 oncorrectiontothestaticwavefront Experiment ability aberrationofMEMS-DMs TAN Kunl Zuo-junl”，CHENHai-qin91，KANGJing-ranI,ZHANG of ofScienceand Optoelectromc University Technology。Wuhan430074，China； (1．Department Engineering，Huazhong of ofBasic 430070，China) 2．DepartmentApphedPhysics，CollegeSciences，HuazhongAgricultureUniversity，Wuhan Abstract：MEMSdeformable a elementin mirror(MEMS-DMs)isveryimportant adaptiveoptical ofcorrectiontothestaticwavefrontaberrationofMEMS-DMswas system．Theoryanalysis ability basedon wasmadetotestthecorrectionof experiment described．Testing adaptiveopticssystem ability MEMS·DMs the control resultsshowthat wave by technology experimental