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WSH石英坩埚失透层剥落问题解析

提出先:无锡市尚宏光伏科技有限公司 22 英寸石英坩埚拉制中失透层剥落问题解析 Analysis about used 20inch crucible at WSH 目次 content 1.石英坩埚的使用状况 2.坩埚制造履历及检查记录调查 3、外观观察 4、纯度分析 5、原因推定 6、结语 作成日 written date: 2010-12-15 作成者 written by: 王 君 伟 左 伟 仙 承认者 approval: 周 勇 作成:杭州先进石英材料有限公司 设计开发部 杭州市滨江区滨康路 668 号 TEL(+86)571 FAX(+86)571 Advanced Quartz Material(Hangzhou) Co.,Ltd Binjiang Plant2; 668 Binkang Road, Binjiang District, Hangzhou, Zhejiang 310053, P.R.China 文件类别:非管理 文件性质:社外提出用 机密文件 Confidential 2010 年 12 月 12 日,收到贵司关于22”坩埚失透层剥落的问题反馈,以下为相关解析。 问题产品: WSH-221501 坩埚批号: 1012053207 问题发生日期: 2010 年 12 月 12 日 拉制履历: 坩埚在开始化料 5.5 个小时的时候,从观察窗发现石英坩埚内表面有裂纹并有失透物剥落。 ******************************************************************************* 一、 检查记录调查 R Heigh Weig 外径 厚度 透明层厚度 Lot No. Gap t ht D1 D2 T1 T2 R B T1 T2 R B RG H W 382.0 ____ Specification 552.0~558.0 8.0~14.0 9.0~15.0 ≥3.0 ≤3.5 ~ _ 388.0 1012053207 553.8 556.7 9.3 10.4 12.3 12.4 3.5 3.5 4.2 4.5 1.5 386.0 17.4 从检查表中看,现检测数据均满足客户要求。其中 R 、B 部厚度均处于均

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