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WSH石英坩埚失透层剥落问题解析
提出先:无锡市尚宏光伏科技有限公司
22 英寸石英坩埚拉制中失透层剥落问题解析
Analysis about used 20inch crucible at WSH
目次 content 1.石英坩埚的使用状况
2.坩埚制造履历及检查记录调查
3、外观观察
4、纯度分析
5、原因推定
6、结语
作成日 written date: 2010-12-15
作成者 written by: 王 君 伟 左 伟 仙
承认者 approval: 周 勇
作成:杭州先进石英材料有限公司
设计开发部
杭州市滨江区滨康路 668 号
TEL(+86)571 FAX(+86)571
Advanced Quartz Material(Hangzhou) Co.,Ltd
Binjiang Plant2; 668 Binkang Road,
Binjiang District, Hangzhou, Zhejiang 310053, P.R.China
文件类别:非管理
文件性质:社外提出用 机密文件
Confidential
2010 年 12 月 12 日,收到贵司关于22”坩埚失透层剥落的问题反馈,以下为相关解析。
问题产品: WSH-221501
坩埚批号: 1012053207
问题发生日期: 2010 年 12 月 12 日
拉制履历:
坩埚在开始化料 5.5 个小时的时候,从观察窗发现石英坩埚内表面有裂纹并有失透物剥落。
*******************************************************************************
一、 检查记录调查
R Heigh Weig
外径 厚度 透明层厚度
Lot No. Gap t ht
D1 D2 T1 T2 R B T1 T2 R B RG H W
382.0
____
Specification 552.0~558.0 8.0~14.0 9.0~15.0 ≥3.0 ≤3.5 ~
_
388.0
1012053207 553.8 556.7 9.3 10.4 12.3 12.4 3.5 3.5 4.2 4.5 1.5 386.0 17.4
从检查表中看,现检测数据均满足客户要求。其中 R 、B 部厚度均处于均
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